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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
dépôt des couches actives proprement dites, et terminer par une couche de protection contre l’oxydation, en déposant soit un métal peu oxydable, soit un
nitrure. I1 faut évidemment veiller à ce que les contraintes induites par le matériau de protection ne détruisent pas l’ordonnancement savant de l’architecture
sous-jacente. Comme déjà signalé, le nombre d’éléments à déposer doit souvent
être limité. Citons en exemple un matériau en multicouche développé pour faire
des capteurs magnétiques de position basés sur la magnétorésistance géante’.
Le support est en silicium pour pouvoir placer les électrodes qui mesureront la
magnétorésistance. une couche tampon en fer peut à la fois permettre l’épitaxie
de la multicouche Co-Cu, et servir de couche de détection de l’orientation des
champs magnétiques. La multicouche Co-Cu sert à induire la magnétorésistance
sous forme d’une couche antiferromagnétique artificielle. Au-dessus, une nouvelle couche de fer sert de nouveau de couche de détection et de couche tampon
pour le matériau de protection. Un tel dispositif sert de détecteur de rotation
sans contact (précision 1 à 3 degrés d’angle).
* Collaboration IPCMS, Siemens, Selet Sensors et Sorep. Contrat Brite-Euram << SENSORS >>
BREU 7863, Contactless position sensors based on new GMR multilayer materials.
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
dépôt des couches actives proprement dites, et terminer par une couche de protection contre l’oxydation, en déposant soit un métal peu oxydable, soit un
nitrure. I1 faut évidemment veiller à ce que les contraintes induites par le matériau de protection ne détruisent pas l’ordonnancement savant de l’architecture
sous-jacente. Comme déjà signalé, le nombre d’éléments à déposer doit souvent
être limité. Citons en exemple un matériau en multicouche développé pour faire
des capteurs magnétiques de position basés sur la magnétorésistance géante’.
Le support est en silicium pour pouvoir placer les électrodes qui mesureront la
magnétorésistance. une couche tampon en fer peut à la fois permettre l’épitaxie
de la multicouche Co-Cu, et servir de couche de détection de l’orientation des
champs magnétiques. La multicouche Co-Cu sert à induire la magnétorésistance
sous forme d’une couche antiferromagnétique artificielle. Au-dessus, une nouvelle couche de fer sert de nouveau de couche de détection et de couche tampon
pour le matériau de protection. Un tel dispositif sert de détecteur de rotation
sans contact (précision 1 à 3 degrés d’angle).
* Collaboration IPCMS, Siemens, Selet Sensors et Sorep. Contrat Brite-Euram << SENSORS >>
BREU 7863, Contactless position sensors based on new GMR multilayer materials.