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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Fig. 6.3. Pouvoir d'arrêt nucléaire et pouvoir d'arrêt électronique des ions argon implantes dans le
cuivre.
Profondeur (nrn)
Fig. 6.4. Simulation montrant la possibilité d'obtenir un profil << plat >) par implantation multiénergies
d'azote dans le titane.