CHAPITRE 6 - MÉTHODES DE PRÉPARATION DES SURFACES
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Ions
informations utilisées en
rétrodiffusés
Agrégats
Ions
spectroscopie de masse
Ions primaires
Neutres moléculaires secondaires - secondaires
oncentration d’ions irndantés
Fig. 6.2. Interactions ions-matière.
2.1.2. Principe des implanteurs ioniques
Pour réaliser un implanteur ionique il faut :
produire des ions dans une source d’ions,
extraire les ions de la source,
séparer les masses des ions à l’aide d’un champ magnétique de manière à
sélectionner l’élément à implanter ainsi que son nombre de charges,
accélérer les ions pour leur donner l’énergie souhaitée et en faire un faisceau
focalisé,
provoquer un balayage du faisceau focalisé sur la surface à traiter afin d o b -
tenir le profil correspondant a u dispositif à réaliser.
L a figure 6.5 montre le principe d’un implanteur à << post-acceleration B mais il
existe bien des variantes de réalisation.