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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Eau
Argon Pompe 1 (refroidissement)
I I
4 It, I I
4
Fig. 5.65. Principe de la lampe de Grimm.
6.3.2. Mise en œuvre de la SDL
Le pouvoir de résolution en profondeur est bon, de l’ordre du nanomètre. On
rencontre cependant tous les problèmes du décapage ionique (cratérisation, pulvérisation préférentielle.. .). L‘analyse de l’extrême surface est toujours problématique car il faut attendre la fin d’un régime transitoire pour pouvoir déterminer la
composition réelle du matériau.
Le nombre d’éléments étudiés simultanément dépend évidemment de la qualité du spectromètre à réseau et du nombre de détecteurs. Une trentaine déléments peuvent être analysés en même temps. En revanche, il ne peut pas exister
de relation simple entre les intensités lumineuses des raies émises par les divers
éléments : on ne pourra pas faire d’analyse quantitative sauf à travailler en routine sur des échantillons ayant des compositions très voisines.
Un des problèmes fondamentaux posés par cette méthode est la détermination de la profondeur abrasée en fonction du temps. I1 nécessite la connaissance
du taux d’érosion qui dépend, d’une part, du matériau analysé et, d’autre part,
des conditions opératoires de la décharge. On procède en général à des étalonnages en mesurant soit la quantité de matière érodée par micropesée, soit la profondeur de la cuvette formée a u bout d’un temps donné. Dans le cas de matrices
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Eau
Argon Pompe 1 (refroidissement)
I I
4 It, I I
4
Fig. 5.65. Principe de la lampe de Grimm.
6.3.2. Mise en œuvre de la SDL
Le pouvoir de résolution en profondeur est bon, de l’ordre du nanomètre. On
rencontre cependant tous les problèmes du décapage ionique (cratérisation, pulvérisation préférentielle.. .). L‘analyse de l’extrême surface est toujours problématique car il faut attendre la fin d’un régime transitoire pour pouvoir déterminer la
composition réelle du matériau.
Le nombre d’éléments étudiés simultanément dépend évidemment de la qualité du spectromètre à réseau et du nombre de détecteurs. Une trentaine déléments peuvent être analysés en même temps. En revanche, il ne peut pas exister
de relation simple entre les intensités lumineuses des raies émises par les divers
éléments : on ne pourra pas faire d’analyse quantitative sauf à travailler en routine sur des échantillons ayant des compositions très voisines.
Un des problèmes fondamentaux posés par cette méthode est la détermination de la profondeur abrasée en fonction du temps. I1 nécessite la connaissance
du taux d’érosion qui dépend, d’une part, du matériau analysé et, d’autre part,
des conditions opératoires de la décharge. On procède en général à des étalonnages en mesurant soit la quantité de matière érodée par micropesée, soit la profondeur de la cuvette formée a u bout d’un temps donné. Dans le cas de matrices