CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
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t“
Anode
j Cathode
Colonne positive (plasma)
Fig. 5.66. Régime de décharge dans une lampe de Grimm.
simples, on peut calculer la profondeur analysée à partir du volume dV érodé par
unité de temps si on connaît le rendement de pulvérisation R de la matrice, sa
masse atomique moyenne M , sa densité p ainsi que l’intensité du courant
ionique I,. On aura :
(5.29)
où NA est le nombre d’Avogadro et e la charge de l’électron.
Un des inconvénients majeurs de la SDL est la nécessité de disposer d’échantillons plans, ce qui suppose de faire u n dressage préalable de la surface à analyser. C’est donc une méthode destructive qui ne peut s’appliquer facilement qu’à
des coupons judicieusement sélectionnés. En revanche, la SDL permet en théorie d’accéder à autant d’éléments qu’on le désire (il suffit d’y mettre le prix), et
autorise l’analyse de l’hydrogène avec une bonne sensibilité relative, ce qui est
totalement impossible avec I’AES ou 1’ESCA. Les temps de mesure sont faibles et
permettent donc d’analyser beaucoup d’échantillons.