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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
6.2.4. Domaines d’applications
Le choix de I’XPS se justifie tout particulièrement quand :
la surface à étudier est homogène et qu’on n’est pas gêné par des problèmes
de résolution latérale,
la surface risque d’être modifiée chimiquement par une autre sonde (électrons de la spectroscopie Auger par exemple),
les atomes en surface ont des déplacements chimiques faciles à interpréter,
il y a plusieurs types d’atomes avec des concentrations supérieures a u
dixième de pour cent,
l’épaisseur de la couche intéressante à étudier est de l’ordre de 10 à 100 nm.
Fig. 5.64. Installation commerciale d’analyse par XPS ; remarquer en haut l’analyseur hemispherique (IPCMS).
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
6.2.4. Domaines d’applications
Le choix de I’XPS se justifie tout particulièrement quand :
la surface à étudier est homogène et qu’on n’est pas gêné par des problèmes
de résolution latérale,
la surface risque d’être modifiée chimiquement par une autre sonde (électrons de la spectroscopie Auger par exemple),
les atomes en surface ont des déplacements chimiques faciles à interpréter,
il y a plusieurs types d’atomes avec des concentrations supérieures a u
dixième de pour cent,
l’épaisseur de la couche intéressante à étudier est de l’ordre de 10 à 100 nm.
Fig. 5.64. Installation commerciale d’analyse par XPS ; remarquer en haut l’analyseur hemispherique (IPCMS).