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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
La figure 5.45 montre les spectres de diffraction réalisés sur u n système multicouche(16).
, TiN 50nm
__ Tap
20nm
- Si polvcristallin
300 nm
.
. - ---. Substrat monocristallin
__ -
s/ (100)
Fig. 5.45. Analyse d'un système multicouches par diffraction X rasante.
L'intérêt de la méthode apparaît encore plus sur la figure 5.46 correspondant
à du fer oxydé : en diffraction 8-28 on ne peut observer que le fer et sous une
incidence de 0,2" on n'a plus que l'oxyde. On a également représenté le spectre à
2" qui ne correspond plus à une incidence rasante mais qui permet, par l'allongement du parcours des rayons X, de mettre en évidence la présence d'oxydes.
C'est une méthode complémentaire utile lorsque l'échantillon n'est pas assez
plan.
(16) Broll N., Diffraction en incidence rasante avec le diffractomètre D 500, Analusis 16 ( 6 )
(1988) 329-333.