CHAPITRE 5 - MÉTHODES D'ANALYSE DE L'INGÉNIEUR DES SURFACES
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8-28
I l
Fe
Fig. 5.46. Mise en evidence d'une couche d'oxyde sur du fer (N. Broll, ENSAIS-LMCM).
On peut également s'intéresser a u rayonnement réfléchi qui permet de mesurer l'épaisseur de couches [et multicouches) d'oxydes (franges de Kiessig), dévaluer la rugosité des interfaces ou le mécanisme de croissance latérale des oxydes
(utilisation de la réflexion diffuse).
L a figure 5.47 montre l'application de la réflectométrie à l'étude de la cinétique d'oxydation du feril7).
La figure 5.48 montre la réflexion diffuse sur u n échantillon industriel de
verre plat. La mesure est effectuée à l'aide d'un diffractomètre X classique (voir
Figs. 5.49 et 5.50).
Les figures 5.49 et 5.50 montrent le principe du montage de réflectométrie et
sa mise en œuvre.
L a réflectométrie X appliquée à la réflexion spéculaire ou à la réflexion diffuse
connaît des développements nouveaux et de plus en plus d'applications ; les
techniques deviennent plus fines. Par exemple, par traitement du signal, on peut
différencier l'ordre de succession des couches d'un système multicouche[l8).
(17) Knoll A., Smigiel E., Broll N. et Cornet A., Étude de l'oxydation du fer a haute temperature à l'aide de la réflectométrie de rayons X, J. Phys. WFrunce 8 (1998) Pr 5-429.
(18) Smigiel E., Knoll A., Broll N. et Cornet A., Use of a windowed Fourier transform in the
study of grazing X-ray reflectometry, J. Phys. N F r u n c e 8 (1998) Pr 5-215.
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Fig. 5.46. Mise en evidence d'une couche d'oxyde sur du fer (N. Broll, ENSAIS-LMCM).
On peut également s'intéresser a u rayonnement réfléchi qui permet de mesurer l'épaisseur de couches [et multicouches) d'oxydes (franges de Kiessig), dévaluer la rugosité des interfaces ou le mécanisme de croissance latérale des oxydes
(utilisation de la réflexion diffuse).
L a figure 5.47 montre l'application de la réflectométrie à l'étude de la cinétique d'oxydation du feril7).
La figure 5.48 montre la réflexion diffuse sur u n échantillon industriel de
verre plat. La mesure est effectuée à l'aide d'un diffractomètre X classique (voir
Figs. 5.49 et 5.50).
Les figures 5.49 et 5.50 montrent le principe du montage de réflectométrie et
sa mise en œuvre.
L a réflectométrie X appliquée à la réflexion spéculaire ou à la réflexion diffuse
connaît des développements nouveaux et de plus en plus d'applications ; les
techniques deviennent plus fines. Par exemple, par traitement du signal, on peut
différencier l'ordre de succession des couches d'un système multicouche[l8).
(17) Knoll A., Smigiel E., Broll N. et Cornet A., Étude de l'oxydation du fer a haute temperature à l'aide de la réflectométrie de rayons X, J. Phys. WFrunce 8 (1998) Pr 5-429.
(18) Smigiel E., Knoll A., Broll N. et Cornet A., Use of a windowed Fourier transform in the
study of grazing X-ray reflectometry, J. Phys. N F r u n c e 8 (1998) Pr 5-215.