CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
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des épaisseurs plus importantes (200 à 300 nm) : c’est une bonne méthode
d’étude des systèmes multicouches.
L’incidence rasante peut être installée sur un goniomètre standard ; la
figure 5.43 indique le schéma du montage et la figure 5.44 en montre la mise en
œuvre.
Foyer trait
Fentes de Soller
Foyer trait
Fentes de Soller
entes de Soller
u
rayons x
Fig. 5.43. Montage de diffraction X sous incidence rasante.
Fig. 5.44. Mise en œuvre de la diffraction X rasante (ENSAIS-LMCM).