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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Intensité
t
I
I
l
I
b
1
2
Z
Fig. 5.12. Principe de la mesure de l’altitude par glissement de franges en lumière blanche.
Projection de franges
On projette s u r la surface des séries de franges parallèles (Fig. 5.13) : ces franges
se déforment en fonction de la topographie de la surface. La caméra CCD les
observe selon un angle (x par rapport à la direction de projection et fournit les
données au calculateur qui reconstitue la surface.
Ce procédé est applicable à la microscopie mais aussi à des dispositifs macroscopiques : amplitude d’analyse verticale jusqu’à 5 mm avec une résolution de
0,5 pm, plage de mesure latérale de 20 mm.
Source
mmr m
lumineuse
prolection
Caméra
Optique
d’analyse
CCD
Fig. 5.13. Principe de la mesure de rugosité par projection de franges (d’après document
OMECA).