CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
175
M.
Fig. 5.10. Interféromètre de Michelson : (a) principe, (b) franges en lumière monochromatique,
(c) franges en lumière blanche.
Michelson
Linnik
Mirau
de faisceau \
Fig. 5.11. Les trois montages fondamentaux de la microscopie interférentielle.
qui correspondent à l’altitude de l’objet et à son relief : c’est la technique du saut
de phase utilisable avec de faibles reliefs (échantillons polis). En éclairant en
lumière blanche, on obtient u n << paquet >> de franges dont le maximum se déplace
en fonction de l’altitude de l’objet et peut être déterminé avec précision (Fig. 5.12) :
technique du glissement de franges. L‘interférométrie à saut de phase acquiert le
champ complet, l’interférométrie à glissement de franges nécessite une reconstruction de l’image.
Les microscopes a glissement de franges comportent u n objectif interférométrique fonctionnant selon l’un des principes de la figure 5.10, une source de
lumière blanche, une caméra CCD et u n porte-échantillon permettant un mouvement selon l’axe z grâce à un moteur piézoélectrique. On enregistre le réseau
de franges dans chaque plan focal ; u n calculateur détermine la hauteur à partir
de la position de l’objet et de la position des franges.
La résolution verticale est de l’ordre de 1 nm.
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M.
Fig. 5.10. Interféromètre de Michelson : (a) principe, (b) franges en lumière monochromatique,
(c) franges en lumière blanche.
Michelson
Linnik
Mirau
de faisceau \
Fig. 5.11. Les trois montages fondamentaux de la microscopie interférentielle.
qui correspondent à l’altitude de l’objet et à son relief : c’est la technique du saut
de phase utilisable avec de faibles reliefs (échantillons polis). En éclairant en
lumière blanche, on obtient u n << paquet >> de franges dont le maximum se déplace
en fonction de l’altitude de l’objet et peut être déterminé avec précision (Fig. 5.12) :
technique du glissement de franges. L‘interférométrie à saut de phase acquiert le
champ complet, l’interférométrie à glissement de franges nécessite une reconstruction de l’image.
Les microscopes a glissement de franges comportent u n objectif interférométrique fonctionnant selon l’un des principes de la figure 5.10, une source de
lumière blanche, une caméra CCD et u n porte-échantillon permettant un mouvement selon l’axe z grâce à un moteur piézoélectrique. On enregistre le réseau
de franges dans chaque plan focal ; u n calculateur détermine la hauteur à partir
de la position de l’objet et de la position des franges.
La résolution verticale est de l’ordre de 1 nm.