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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Fig. 5.9. Exemple d’acquisition, avec un dispositif confocal a analyse chromatique, sur une tôle de
carrosserie automobile pour laquelle les cylindres de skin-pass ont subi un grenaillage laser -
cf. figure 2.4 (document STIL).
et un minimum nul pour :
(5.2)
A
A = ( 2 p +l)2
en déplaçant le miroir M, de de on observe deux maximums consécutifs pour :
(5.3)
A
de = -
2
en admettant qu’on sait raisonnablement mesurer 1 / 100e de l’intervalle entre
deux franges on trouve, dans le visible, une résolution de quelques nm.
Si le miroir M, est << plan D on observe des franges parallèles et s’il est
<< ondulé >> on observe les interférences de la figure 5. lob. En éclairant en lumière
blanche, on observera des franges << colorées >> (Fig. 5 . 1 0 ~ ) .
L a figure 5.1 1 montre trois montages qui peuvent être utilisés en microscopie
interférentielle.
Le montage de Michelson nécessite de placer le prisme de séparation devant
l’objectif qui doit avoir une grande distance frontale (ce qui limite le grossissement possible). Le problème est résolu avec le montage de Linnik qui permet
d’accéder aux plus forts grossissements avec des objectifs à grande ouverture
numérique : en revanche, il faut deux objectifs appairés. Le montage de Mirau,
avec u n seul objectif, est u n bon compromis car le séparateur de faisceau est
moins encombrant que le prisme, par contre la perte de lumière a u centre est
gênante aux faibles grossissements.
À travers u n microscope interférentiel, fonctionnant en éclairage monochromatique, on observe (par exemple, avec une caméra CCD) des franges d’interférences