CHAPITRE 5 - MÉTHODES D'ANALYSE DE L'INGÉNIEUR DES SURFACES
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t Diaphragme
Focalisation
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Fig. 5.8. À gauche, principe de la microscopie confocale ; a droite, exemple de mise en œuvre
pour la mesure de rugosité.
Microscopies interférentielles
Rappelons brièvement le principe de l'interféromètre de Mi~helson'~). Considérons deux miroirs perpendiculaires, M, et M,, et une lame séparatrice, G, placée
à 45" (Fig. 5.10).
Un rayon lumineux, monochromatique, issu de S et se rendant en M va parcourir les deux trajets SOA,OM et SOA,OM : en M ces deux rayons présentent
une différence de marche, A , égale à 2 e . Sip est u n entier et il la longueur d'onde
de la lumière, on observe u n maximum d'intensité pour :
A = p a
(5.1)
(4) Françon M., L'optique moderne et ses développements depuis l'apparition du laser
(Hachette-CNRS, 1986), pp. 30-36.