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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
C a r n r D 1 1
Éclairage
Séparateur
I
de faisceau
I
Dio
Fig. 5.7. Mesure de rugosité par focalisation dynamique, d’après document UBM-OPTILAS.
de l’objet). Pour réaliser le balayage, on peut utiliser une table X Y pour déplacer
l’objet ou, comme sur la figure, u n << scanner >) à miroirs mobiles pour agir sur le
spot ; les miroirs sont montés sur des cadres de galvanomètres.
Une variante intéressante consiste à faire appel à une optique dans laquelle
on a volontairement introduit des aberrations chromatiques et à utiliser u n
éclairage en lumière blanche. Comme pour chaque longueur d’onde, on a une
image nette (plage de mesure jusqu’à 900 pm), on remplace le moteur de focalisation et le photomultiplicateur par un analyseur chromatique à barette de photodiodes permettant ainsi d’accéder à une vraie mesure optique car il n’y a plus
aucune pièce en mouvement dans le capteur. L a figure 5.9 donne un exemple
d‘acquisition avec ce type de dispositif.
L a résolution verticale est inférieure à 10 nm et la cadence d’acquisition des
mesures est de 1 O00 points/s, ce qui surpasse déjà les mesures tactiles.