CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
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variantes :
- projection de franges,
- analyse qq en échelles de gris ».
À ces méthodes, il convient d‘ajouter celles basées sur les microscopies à
champ proche (force atomique - AFM, effet tunnel - STM) dont les principes
sont présentés dans la suite de cette section ainsi que la réflectométrie de rayons X
(voir Sect. 4.1 de ce chapitre). Nous ne présentons pas les mesures par microscopie
électronique à balayage.
Les performances comparées des systèmes de mesure de rugosité en termes
de plage et de résolutions verticale et latérale sont illustrées en figure 5.4.
Nous reviendrons sur la représentativité des différentes méthodes après les
avoir décrites.
2.1.2. Méthodes tactiles
On utilise u n stylet constitué d’un diamant généralement conique avec u n rayon
de courbure de la pointe compris entre 2 et 5 pm. L a mesure du déplacement
vertical (Fig. 5.5) fait appel, par exemple, à u n capteur inductif (on peut aussi
utiliser u n système opto-électronique).
al
1
c
al
1 nrr
I confocales
?Iles
I
1
I
l
I
I
I
I
I
I
I
1 nrn
1 Pm
1 rnrn
l r n
Horizontal : resolution et domaine
Fig. 5.4. Domaines d’utilisation et limites en résolution des procédés de mesure de rugosité ;
la résolution latérale des méthodes optiques est fonction du procédé de balayage.