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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
2.
Caractérisation morphologique
2.1. Rugosité
2.1.1. Classification des dispositifs de mesure
I1 convient de distinguer''' les instruments tactiles et les instruments sans
contact, utilisés en :
profilométrie 2D,
topographie 3D des surfaces.
Comparer ces dispositifs nécessite de prendre en compte u n certain nombre
résolution et plage de mesure verticales,
de paramètres :
fréquence de mesure,
distance de travail, capteur-surface,
résolution et plage de mesure latérales,
propriétés optiques de la surface : réflexion spéculaire, réfiexion diffuse.
Les instruments tactiles utilisent u n stylet (diamant) ; ceux sans contact sont
généralement optiques et opèrent en mesurant la distance entre une référence
interne et les points de la surface. La mesure utilise u n codage de l'espace de
mesure faisant généralement appel à de la lumière structurée (point, ligne ou
champ 2D du type mire de Ronchi ou mire sinusoïdale). Pratiquement, cela se
traduira par la refocalisation dynamique d'un faisceau lumineux, le codage
interférentiel ou le codage chromatique.
Une mire de Ronchi, ou mire de Foucault, est une mire de traits noirs et
blancs, de rapport cyclique 1 / 2 , dont le profil photonique est parfaitement
2
rectangulaire.
Nous présenterons les méthodes optiques suivantes :
méthodes basées sur la focalisation de la lumière :
- focalisation dynamique,
- microscopie confocale,
méthodes interférométriques :
- saut de phase,
- glissement de franges,
(1) La bibliographie est abondante, avec notamment un point (en 1993) dans The deueiopment of methodsfor the caracterisation of roughness in three dimensions, Rapport CEE EUR
15178 EN (19931, ISBN 0-7044-1313-2, sous la direction de K.J. Stout.
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
2.
Caractérisation morphologique
2.1. Rugosité
2.1.1. Classification des dispositifs de mesure
I1 convient de distinguer''' les instruments tactiles et les instruments sans
contact, utilisés en :
profilométrie 2D,
topographie 3D des surfaces.
Comparer ces dispositifs nécessite de prendre en compte u n certain nombre
résolution et plage de mesure verticales,
de paramètres :
fréquence de mesure,
distance de travail, capteur-surface,
résolution et plage de mesure latérales,
propriétés optiques de la surface : réflexion spéculaire, réfiexion diffuse.
Les instruments tactiles utilisent u n stylet (diamant) ; ceux sans contact sont
généralement optiques et opèrent en mesurant la distance entre une référence
interne et les points de la surface. La mesure utilise u n codage de l'espace de
mesure faisant généralement appel à de la lumière structurée (point, ligne ou
champ 2D du type mire de Ronchi ou mire sinusoïdale). Pratiquement, cela se
traduira par la refocalisation dynamique d'un faisceau lumineux, le codage
interférentiel ou le codage chromatique.
Une mire de Ronchi, ou mire de Foucault, est une mire de traits noirs et
blancs, de rapport cyclique 1 / 2 , dont le profil photonique est parfaitement
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rectangulaire.
Nous présenterons les méthodes optiques suivantes :
méthodes basées sur la focalisation de la lumière :
- focalisation dynamique,
- microscopie confocale,
méthodes interférométriques :
- saut de phase,
- glissement de franges,
(1) La bibliographie est abondante, avec notamment un point (en 1993) dans The deueiopment of methodsfor the caracterisation of roughness in three dimensions, Rapport CEE EUR
15178 EN (19931, ISBN 0-7044-1313-2, sous la direction de K.J. Stout.