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Analyse et technologie des surfaces
Le canon à cathode chaude (fig. 5.5(d)) est utilisé principalement pour l’ionisation des gaz inertes comme l’Ar + et le Kr + ou une source moléculaire comme le
. C’est ce type de canon à ion qui est utilisé souvent comme source de décapage
pour les profils en profondeur. Dans la plupart des cas, un dispositif de pompage
différentiel est installé pour réduire la contamination de l’échantillon et la pression
du gaz de la source.
5.4.2 Spectromètre quadrupolaire
Le schéma d’un quadrupôle est montré à la figure 5.6. Une source d’ions est
dirigée vers la surface. Les ions émis par la surface sont accélérés entre la surface de
l’échantillon et l’entrée de l’analyseur (lentille d’immersion IL). Dans l’analyseur,
SF 5
+
entrée
gaz
ions primaires
décharge
2-15 keV
bobine magnétique
–V
–V
–V
ions primaires
entrée
gaz
filament W
O 2
+
Ar +
–V
réservoir métal liquide
cône
de Taylor
aiguille W métal liquide
fritte
chauffée
réservoir
chauffé
Cs liquide
Ar +
Kr +
(a)
(b)
(d)
(c)
Fig. 5.5 Principe de canons à ions : (a) source à décharge (cathode froide), (b) source d’ions Cs + , (c)
source d’ions à métal liquide Ga + et (d) source d’ions à cathode chaude. Un potentiel –V est appliqué
pour l’extraction des ions d’après [5.7].