Spectroscopie d’électrons Auger
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Cette équation est exacte. Cependant, avec l’hypothèse que R >> D, on obtient
une équation simplifiée:
(4.6b)
De plus, la distance entre deux profondeurs correspond à une épaisseur d
définie par les rayons R 2 et R 1
(4.6c)
Les équations (4.6b) et (4.6c) sont valables sous condition que R >> D et que
R >> R 2 avec une erreur plus petite que (R/64)(D/R) 4 . Dans la pratique, R est plus
grand que 1 cm et D, R 1 ou R 2 sont plus petits que 1 mm. En conséquence, l’erreur
est plus petite que 15 nm ou 1,5% pour une couche d’une épaisseur de 1 µm. La
précision est limitée principalement par la rugosité induite par le polissage et par le
transfert de microparticules dans la direction latérale. Typiquement, on a une précision de 3 à 7% pour des couches d’une épaisseur < 100 nm. Nous constatons que
ce mode d’analyse est très utile pour la mesure des couches minces qui ont des
épaisseurs qui dépassent quelques micromètres. Cependant, on verra au chapitre 7
d’autres méthodes capables d’effectuer des mesures sur des telles couches.
La figure 4.18 montre un exemple d’une mesure Auger en ligne d’un échantillon de TiN poli mécaniquement par une bille à partir du bord d’une calotte
z
D 2 /4 D/2 x
–
(
) 2
–
2R
------------------------------------------- -
=
d
R 2
2 R 1
2
–
2R
-----------------=
50
40
30
20
10
0
200
0
400
600
800
1000
x [µm]
I
(p-p)
Ti + N
Ti
O
C
O
Fe
x' = 0
Fig. 4.18 Exemple d’une analyse en ligne sur le bord d’une calotte préparée par polissage
mécanique dans une couche TiN sur acier avec une bille d’un diamètre de 3 cm. Les intensités des
pics I (pic-à-pic) sont montrées en fonction du déplacement du faisceau électronique. Le bord de la
calotte de la couche de TiN qui se trouve vers x = 500 µm est indiqué.