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Analyse et technologie des surfaces
de la composition chimique. La figure 4.16(c) montre le principe d’une mesure d’un
échantillon avec des couches minces. Pour effectuer une telle expérience, il faut
polir mécaniquement l’échantillon pour exposer les couches minces qui ont typiquement une épaisseur entre environ 100 nm et 20 µm. La profondeur z est déterminée par la relation:
(4.5)
où le déplacement x est mesuré à partir du bord du polissage mécanique (rodage); α
est l’angle entre la surface originale et le polissage mécanique qui peut être mesuré
par un profilomètre (chap. 7). La préparation d’une calotte par polissage mécanique
cette fois avec une bille est un cas spécial d’une mesure en profondeur par une analyse de ligne. La figure 4.17 montre schématiquement une telle calotte polie avec
une bille d’un diamètre R. En pratique, on utilise des billes avec une diamètre comprise entre 1 et 3 cm. Dans notre exemple, l’échantillon est un acier recouvert d’une
couche oxyde de 5 nm et d’une couche mince de TiN d’un épaisseur d’environ
3 µm.
Comme décrit dans la figure 4.17, le faisceau électronique suit une ligne de
gauche à droite traversant la calotte. On peut calculer la profondeur analysée, z, en
fonction du déplacement latéral du faisceau électronique, x, mesuré à partir du bord
de la calotte selon [4.9]:
(4.6a)
z
x α
tan
=
z
R 2 D
2
--- - x
–
2
–
1 2
/
R 2 D
2
--- -
2
–
1 2
/
–
=
R
D
R 2
R 1
x
x' = 0
z
d
acier
TiN
Fig. 4.17 Schéma de la géométrie d’une calotte par polissage mécanique avec une bille de rayon R. Le
début du déplacement électronique en direction x est x' = 0 qui correspond au bord de la calotte. D est
le diamètre extérieur, les distances R 2 et R 1 correspondent à des profondeurs z et z + d (d’après [4.9]).
Analyse et technologie des surfaces
de la composition chimique. La figure 4.16(c) montre le principe d’une mesure d’un
échantillon avec des couches minces. Pour effectuer une telle expérience, il faut
polir mécaniquement l’échantillon pour exposer les couches minces qui ont typiquement une épaisseur entre environ 100 nm et 20 µm. La profondeur z est déterminée par la relation:
(4.5)
où le déplacement x est mesuré à partir du bord du polissage mécanique (rodage); α
est l’angle entre la surface originale et le polissage mécanique qui peut être mesuré
par un profilomètre (chap. 7). La préparation d’une calotte par polissage mécanique
cette fois avec une bille est un cas spécial d’une mesure en profondeur par une analyse de ligne. La figure 4.17 montre schématiquement une telle calotte polie avec
une bille d’un diamètre R. En pratique, on utilise des billes avec une diamètre comprise entre 1 et 3 cm. Dans notre exemple, l’échantillon est un acier recouvert d’une
couche oxyde de 5 nm et d’une couche mince de TiN d’un épaisseur d’environ
3 µm.
Comme décrit dans la figure 4.17, le faisceau électronique suit une ligne de
gauche à droite traversant la calotte. On peut calculer la profondeur analysée, z, en
fonction du déplacement latéral du faisceau électronique, x, mesuré à partir du bord
de la calotte selon [4.9]:
(4.6a)
z
x α
tan
=
z
R 2 D
2
--- - x
–
2
–
1 2
/
R 2 D
2
--- -
2
–
1 2
/
–
=
R
D
R 2
R 1
x
x' = 0
z
d
acier
TiN
Fig. 4.17 Schéma de la géométrie d’une calotte par polissage mécanique avec une bille de rayon R. Le
début du déplacement électronique en direction x est x' = 0 qui correspond au bord de la calotte. D est
le diamètre extérieur, les distances R 2 et R 1 correspondent à des profondeurs z et z + d (d’après [4.9]).