Spectroscopie d’électrons Auger
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• analyse d’un ou de plusieurs points en surface (S, M),
• cartes de distribution élémentaire (M),
• analyse en ligne de la distribution d’un élément (M),
• profils en profondeur (S, M).
Par la suite, nous verrons quelques exemples pratiques. Le premier exemple
concerne un alliage Fe-Cr-Nb. La question posée était de mettre en évidence des
inhomogénéités latérales. Avant de passer au mode microscopique, plusieurs spectres de la surfaces ont été mesurés. La figure 4.13 en montre deux sur deux points
différents.
Les spectres sont présentés en N(E) · E (nombre d’électrons secondaires multiplié par l’énergie cinétique E) en fonction de l’énergie cinétique E. La multiplication par E augmente l’intensité des pics à haute énergie cinétique. On identifie bien
les pics de Nb, C, Cr, O et Fe. La largeur des pics Auger est de 5-15 eV, ce qui peut
mener à une interférence de pics comme c’est le cas ici pour l’oxygène et le
chrome. Le carbone est une contamination de surface qu’on trouve presque toujours
sur les échantillons préparés à l’extérieur. On utilise souvent le spectre différencié
dN(E)/dE pour mieux identifier la position des pics. La figure 4.14 montre les spectres après une différentiation numérique.
La différence entre un maximum et un minimum représente l’intensité
pic-à-pic correspondant à l’aire du pic dans le spectre N(E)E pourvu que le pic soit
symétrique (forme de Gauss). La comparaison des deux spectres montre que dans le
spectre (1) un pic de niobium est visible vers 167 eV mais il n’apparaît pas en (2).
Pour une analyse plus détaillée, on choisit un temps d’acquisition plus élevé permettant d’obtenir un meilleur rapport signal/bruit. De plus, on augmente la résolution
5
4
3
2
1
0
0
200
400
600
800
1000
E cin [eV]
N(E) E
Nb
C
Cr
O
Cr
Fe
(1)
(2)
Fig. 4.13 Spectres AES sur 2 points différents d’un alliage de Fe-Cr-Nb en mode N(E) · E. Le nombre d’électrons Auger N(E) est multiplié par l’énergie cinétique E.
×10 4
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• analyse d’un ou de plusieurs points en surface (S, M),
• cartes de distribution élémentaire (M),
• analyse en ligne de la distribution d’un élément (M),
• profils en profondeur (S, M).
Par la suite, nous verrons quelques exemples pratiques. Le premier exemple
concerne un alliage Fe-Cr-Nb. La question posée était de mettre en évidence des
inhomogénéités latérales. Avant de passer au mode microscopique, plusieurs spectres de la surfaces ont été mesurés. La figure 4.13 en montre deux sur deux points
différents.
Les spectres sont présentés en N(E) · E (nombre d’électrons secondaires multiplié par l’énergie cinétique E) en fonction de l’énergie cinétique E. La multiplication par E augmente l’intensité des pics à haute énergie cinétique. On identifie bien
les pics de Nb, C, Cr, O et Fe. La largeur des pics Auger est de 5-15 eV, ce qui peut
mener à une interférence de pics comme c’est le cas ici pour l’oxygène et le
chrome. Le carbone est une contamination de surface qu’on trouve presque toujours
sur les échantillons préparés à l’extérieur. On utilise souvent le spectre différencié
dN(E)/dE pour mieux identifier la position des pics. La figure 4.14 montre les spectres après une différentiation numérique.
La différence entre un maximum et un minimum représente l’intensité
pic-à-pic correspondant à l’aire du pic dans le spectre N(E)E pourvu que le pic soit
symétrique (forme de Gauss). La comparaison des deux spectres montre que dans le
spectre (1) un pic de niobium est visible vers 167 eV mais il n’apparaît pas en (2).
Pour une analyse plus détaillée, on choisit un temps d’acquisition plus élevé permettant d’obtenir un meilleur rapport signal/bruit. De plus, on augmente la résolution
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N(E) E
Nb
C
Cr
O
Cr
Fe
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Fig. 4.13 Spectres AES sur 2 points différents d’un alliage de Fe-Cr-Nb en mode N(E) · E. Le nombre d’électrons Auger N(E) est multiplié par l’énergie cinétique E.
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