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Analyse et technologie des surfaces
en énergie par des pas en énergie (incréments) plus petits. Ainsi, on réalise une
bonne définition des pics qui est nécessaire pour une analyse en microscopie ou
pour la quantification.
La mesure de la distribution élémentaire est réalisée par balayage du faisceau
électronique provoquant l’émission des électrons Auger. L’intensité pic-à-pic enregistrée en fonction de l’emplacement du faisceau mène à une carte de distribution
Auger (mapping). La figure 4.15 montre la distribution élémentaire en surface de
l’alliage Fe-Cr-Nb pour les éléments de Fe, Cr, O et Nb.
10
8
6
4
2
0
1000
800
600
400
200
0
Nb
C
Cr
O
Fe
Cr
1
2
× 10 3
E cin [eV]
dN(E)/dE
Fig. 4.14 Spectres AES sur 2 points différents du même alliage de Fe-Cr-Nb en mode dN(E)/dE
montré par la figure 4.13.
Fig. 4.15 Exemple de cartes de distribution Auger même alliage Fe-Cr-Nb (voir fig. 4.13 et 4.14)
attaqué chimiquement puis oxydé à l’air : Fe (haut, gauche) – Cr (haut, droite) – O (bas, gauche) – Nb
(bas, droite) d’après [4.9].