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Analyse et technologie des surfaces
définie comme le rapport entre le nombre d’électrons émis par l’échantillon et le
nombre d’électrons mesurés par le détecteur d’électrons.
La source d’électrons coaxiale qui fait partie de l’analyseur cylindrique (CMA)
permet d’éviter plus facilement les effets d’ombre et facilite la mise au point de
l’échantillon parce que les électrons primaires arrivent perpendiculairement à la surface de l’échantillon. Cependant, l’analyseur hémisphérique montré par la figure 4. 10
a une meilleure résolution en énergie. Le CMA illustré à la figure 4.12 incorpore une
source à émission de champ avec un système de lentilles magnétiques. Il a un détecteur sous forme de huit anneaux qui permettent d’analyser simultanément les électrons
avec huit énergies différentes. Il ressemble à un microscope électronique à balayage
avec la différence qu’il est équipé d’un analyseur et le fait qu’il est placé dans une
enceinte à ultravide. Son but est d’optimiser l’acquisition des électrons Auger et de
trouver un bon compromis entre une acquisition d’images et des spectres de qualité.
L’évolution dans la fabrication des multiplicateurs d’électrons a permis d’augmenter le rapport signal/bruit et ainsi de diminuer la limite de détection pour une
même résolution spatiale. Les analyseurs sont fabriqués en acier inox (par ex. 316L)
pour écarter toute radiation électromagnétique de l’extérieur, ce qui permet d’étuver
tout le système d’analyse et de travailler en ultravide (< 10 –7 Pa). Les effets instrumentaux et la normalisation des spectres sont discutés en détail par Lorang [4.8].
4.4.3 Exemples pratiques
La microscopie (M) et la spectroscopie (S) Auger groupent quatre types
d’analyse:
Fig. 4.12 Schéma d’un analyseur cylindrique (CMA).
source e –
lentilles
déflecteurs
détecteur
diaphragme
déflecteurs
bobine
stigmateur
échantillon
Analyse et technologie des surfaces
définie comme le rapport entre le nombre d’électrons émis par l’échantillon et le
nombre d’électrons mesurés par le détecteur d’électrons.
La source d’électrons coaxiale qui fait partie de l’analyseur cylindrique (CMA)
permet d’éviter plus facilement les effets d’ombre et facilite la mise au point de
l’échantillon parce que les électrons primaires arrivent perpendiculairement à la surface de l’échantillon. Cependant, l’analyseur hémisphérique montré par la figure 4. 10
a une meilleure résolution en énergie. Le CMA illustré à la figure 4.12 incorpore une
source à émission de champ avec un système de lentilles magnétiques. Il a un détecteur sous forme de huit anneaux qui permettent d’analyser simultanément les électrons
avec huit énergies différentes. Il ressemble à un microscope électronique à balayage
avec la différence qu’il est équipé d’un analyseur et le fait qu’il est placé dans une
enceinte à ultravide. Son but est d’optimiser l’acquisition des électrons Auger et de
trouver un bon compromis entre une acquisition d’images et des spectres de qualité.
L’évolution dans la fabrication des multiplicateurs d’électrons a permis d’augmenter le rapport signal/bruit et ainsi de diminuer la limite de détection pour une
même résolution spatiale. Les analyseurs sont fabriqués en acier inox (par ex. 316L)
pour écarter toute radiation électromagnétique de l’extérieur, ce qui permet d’étuver
tout le système d’analyse et de travailler en ultravide (< 10 –7 Pa). Les effets instrumentaux et la normalisation des spectres sont discutés en détail par Lorang [4.8].
4.4.3 Exemples pratiques
La microscopie (M) et la spectroscopie (S) Auger groupent quatre types
d’analyse:
Fig. 4.12 Schéma d’un analyseur cylindrique (CMA).
source e –
lentilles
déflecteurs
détecteur
diaphragme
déflecteurs
bobine
stigmateur
échantillon