Spectroscopie d’électrons Auger
55
4.4.1 Sources d’électrons
L’analyse Auger à balayage (Scanning Auger Microprobe, SAM) utilise un des
trois types de sources suivantes en ordre décroissant de résolution latérale:
• filament de Tungstène (W),
• cristal de LaB 6 ,
• source d’électrons à émission de champ permettant de travailler avec des
faisceaux de diamètre allant de 1 µm à 50 nm ou moins.
Pour obtenir la meilleure résolution, il faut élever l’énergie des électrons primaires à 10-30 keV. On peut se demander pourquoi on se limite à de basses énergies
primaires. L’explication se trouve dans la section efficace illustrée dans la figure 4.5
qui montre quand le rapport E p /E AW augmente, la probabilité de création d’un électron Auger diminue.
Une autre limitation du choix des paramètres expérimentaux est à considérer.
La densité de courant peut atteindre lors de la focalisation des valeurs très élevées
qui peuvent provoquer des dégâts d’irradiation importants. Le flux tolérable dépend
des matériaux, la valeur moyenne à ne pas dépasser étant inférieure à quelques
mA · cm –2 , ce qui correspond à 1 nA pour un spot de 10 µm de diamètre. Les sources à émission de champ donnent pour le même courant un diamètre de faisceau
inférieur, comme le montre la figure 4.11. Elle illustre l’intérêt d’une utilisation
d’une source à émission de champ surtout s’il s’agit de mesures d’échantillons sensibles à la dégradation.
4.4.2 Spectromètres
Deux types d’analyseurs sont utilisés, soit hémisphérique (HPA), comme discuté au chapitre 3, soit cylindrique (CMA). Le CMA [4.7] dont la figure 4.12 montre le schéma, a une transmission d’électrons de 0,05 à 0,1. La transmission est
1000
10
100
0,1
1
10
100
LaB 6
émission
de champ
diamètre du spot [nm]
I [nA]
Fig. 4.11 Comparaison des sources d’électrons primaires (LaB 6 et à émission de champ).
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4.4.1 Sources d’électrons
L’analyse Auger à balayage (Scanning Auger Microprobe, SAM) utilise un des
trois types de sources suivantes en ordre décroissant de résolution latérale:
• filament de Tungstène (W),
• cristal de LaB 6 ,
• source d’électrons à émission de champ permettant de travailler avec des
faisceaux de diamètre allant de 1 µm à 50 nm ou moins.
Pour obtenir la meilleure résolution, il faut élever l’énergie des électrons primaires à 10-30 keV. On peut se demander pourquoi on se limite à de basses énergies
primaires. L’explication se trouve dans la section efficace illustrée dans la figure 4.5
qui montre quand le rapport E p /E AW augmente, la probabilité de création d’un électron Auger diminue.
Une autre limitation du choix des paramètres expérimentaux est à considérer.
La densité de courant peut atteindre lors de la focalisation des valeurs très élevées
qui peuvent provoquer des dégâts d’irradiation importants. Le flux tolérable dépend
des matériaux, la valeur moyenne à ne pas dépasser étant inférieure à quelques
mA · cm –2 , ce qui correspond à 1 nA pour un spot de 10 µm de diamètre. Les sources à émission de champ donnent pour le même courant un diamètre de faisceau
inférieur, comme le montre la figure 4.11. Elle illustre l’intérêt d’une utilisation
d’une source à émission de champ surtout s’il s’agit de mesures d’échantillons sensibles à la dégradation.
4.4.2 Spectromètres
Deux types d’analyseurs sont utilisés, soit hémisphérique (HPA), comme discuté au chapitre 3, soit cylindrique (CMA). Le CMA [4.7] dont la figure 4.12 montre le schéma, a une transmission d’électrons de 0,05 à 0,1. La transmission est
1000
10
100
0,1
1
10
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LaB 6
émission
de champ
diamètre du spot [nm]
I [nA]
Fig. 4.11 Comparaison des sources d’électrons primaires (LaB 6 et à émission de champ).