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Analyse et technologie des surfaces
routine. Les spectromètres Auger sont constitués d’un canon fournissant des électrons primaires monoénergétiques et d’un analyseur chargé d’effectuer la discrimination en énergie des électrons émis par l’échantillon. L’ensemble est placé dans
une enceinte à ultravide (≤ 10 –8 Pa) pour éviter la pollution de surface au cours de
l’analyse ou du décapage. D’autres accessoires se trouvent souvent dans un système
d’analyse: système de mesure du vide (jauge Bayart-Alpert) et des pressions partielles (quadrupôle), système de transfert (sas), canon à ions pour le décapage ionique (nettoyage in situ ou profil en profondeur), détecteur d’électrons secondaires
pour l’imagerie. La figure 4.10 montre le schéma d’un analyseur AES à miroir
cylindrique (CMA) avec le canon à électrons qui se trouve au centre de l’analyseur.
L’appareil travaille dans un mode de résolution relative constante, c’est-à-dire
∆E/E = constante, où ∆E est la largeur du pic à mi-hauteur (FWHM) et E son énergie cinétique E WXY ; cela signifie que le signal et la résolution sont proportionnels à
l’énergie des électrons. La largeur des pics Auger est comprise entre 10 et 15 eV. Le
CMA mesure le nombre des électrons N(E) en fonction de leur énergie continue. Il
permet d’obtenir des courbes dérivées dN(E)/dE par différentiation numérique. Le
faisceau d’électrons peut être focalisé et balayé, de sorte que l’analyseur peut être
utilisé en mode microscopique afin d’obtenir des images Auger. La figure 4.11
montre l’image d’un système Auger à balayage de notre laboratoire. On observe à
gauche le sas avec une tige manuelle qui permet d’introduire l’échantillon dans le
ultravide. L’analyseur cylindrique (CMA) est vertical avec la source d’électrons en
haut. Le porte-échantillon peut être déplacé dans les directions x, y et z, ainsi que
tourné et pivoté. En-dessous de la console se trouve le système de pompage.
analyseur
CMA
sas
échantillon
ultravide
canon
ionique
spectre
ligne
image
profil
E
x
t
Fig. 4.10 Schéma d’un analyseur AES à miroir cylindrique (CMA).
Analyse et technologie des surfaces
routine. Les spectromètres Auger sont constitués d’un canon fournissant des électrons primaires monoénergétiques et d’un analyseur chargé d’effectuer la discrimination en énergie des électrons émis par l’échantillon. L’ensemble est placé dans
une enceinte à ultravide (≤ 10 –8 Pa) pour éviter la pollution de surface au cours de
l’analyse ou du décapage. D’autres accessoires se trouvent souvent dans un système
d’analyse: système de mesure du vide (jauge Bayart-Alpert) et des pressions partielles (quadrupôle), système de transfert (sas), canon à ions pour le décapage ionique (nettoyage in situ ou profil en profondeur), détecteur d’électrons secondaires
pour l’imagerie. La figure 4.10 montre le schéma d’un analyseur AES à miroir
cylindrique (CMA) avec le canon à électrons qui se trouve au centre de l’analyseur.
L’appareil travaille dans un mode de résolution relative constante, c’est-à-dire
∆E/E = constante, où ∆E est la largeur du pic à mi-hauteur (FWHM) et E son énergie cinétique E WXY ; cela signifie que le signal et la résolution sont proportionnels à
l’énergie des électrons. La largeur des pics Auger est comprise entre 10 et 15 eV. Le
CMA mesure le nombre des électrons N(E) en fonction de leur énergie continue. Il
permet d’obtenir des courbes dérivées dN(E)/dE par différentiation numérique. Le
faisceau d’électrons peut être focalisé et balayé, de sorte que l’analyseur peut être
utilisé en mode microscopique afin d’obtenir des images Auger. La figure 4.11
montre l’image d’un système Auger à balayage de notre laboratoire. On observe à
gauche le sas avec une tige manuelle qui permet d’introduire l’échantillon dans le
ultravide. L’analyseur cylindrique (CMA) est vertical avec la source d’électrons en
haut. Le porte-échantillon peut être déplacé dans les directions x, y et z, ainsi que
tourné et pivoté. En-dessous de la console se trouve le système de pompage.
analyseur
CMA
sas
échantillon
ultravide
canon
ionique
spectre
ligne
image
profil
E
x
t
Fig. 4.10 Schéma d’un analyseur AES à miroir cylindrique (CMA).