Spectroscopie d’électrons Auger
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Ce déplacement s’explique par la différence des bandes d’électrons entre le
métal et son oxyde illustré à la figure 4.9 qui donne en plus les niveaux électroniques de l’atome Al. On observe que les bandes de l’atome sont discrètes comme les
bandes de cœur du métal et de l’oxyde. Toutefois, pour ces derniers, les bandes proches du niveau Fermi ne sont plus discrètes et par conséquent, ces différences de
bandes se traduisent en une différence de forme du pic entre le métal et l’oxyde.
4.4 INSTRUMENTATION
Un spectromètre AES doit répondre à deux exigences: une bonne résolution
latérale et une bonne résolution en énergie. La dernière condition n’est pas trop restrictive, car la largeur des pics Auger est en général de 5-15 eV pour une analyse de
Fig. 4.8 Déplacement chimique en AES: (a) Al-métal et (b) Al 2 O 3 . L’intensité I en mode dN(E)/dE
est montrée en fonction de l’énergie cinétique E cin .
2000
1500
1000
500
0
30 40 50 60 70 80 90
E cin [eV]
E cin [eV]
30 40 50 60 70 80 90
600
500
400
300
200
100
0
I
dN(E)/dE
I
dN(E)/dE
(a)
(b)
Fig. 4.9 Niveaux d’énergie de liaison E l de l’aluminium; (a) atome; (b) métal et (c) Al 2 O 3 . On note
la densité des niveaux d’énergie ρ(E).
(a) Al
atome
(b) Al
métal
(c) Al 2 O 3
énergie de liaison [eV]
M 2,3
M 1
L 2,3
L 1
K
2
11
72,8
73
118
1560
ρ(E)
ρ(E)
7
14
76
E L
121
1556
E L