Spectroscopie des photoélectrons
43
3.6.3 Expliquer la variation du déplacement entre CF-CF 2 et CF 3 dans la figure
3.18.
3.6.4 Déterminer le libre parcours moyen pour les pics de l’Au 4f 7/2 , le pic Auger
de l’Au (NOO à 84 eV) et le pic Ag3d 3/2 à l’aide de (3.11b).
3.6.5 Calculer le rapport des facteurs de sensibilité des pics principaux pour Si/O,
Cr/C et Au/Ag à l’aide du tableau A1.
3.6.6 Calculer le paramètre Auger α' pour les pics principaux de cuivre à l’aide de
(3.8):
Cu 2p 932,6 eV, LMM 917,7 eV; CuO 2p 933,7 eV, LMM 918,1 eV
Cu 2 O 2p 932,5 eV, LMM 917 eV.
3.6.7 Déterminer le déplacement chimique entre CH 2 et CO à l’aide du tableau 3.3.
3.7 RÉSUMÉ
La spectroscopie des photoélectrons ESCA/XPS est une méthode d’analyse
chimique de surface dont la profondeur est en moyenne de 1-5 nm soit 3-15 monocouches atomiques pour les échantillons solides. Elle détecte tous les éléments, du
Lithium à l’Uranium. Le volume d’analyse varie entre 100 et 10 5 µm 3 avec une limite
de détection entre 0,1 et 1% atomique de ce volume, c’est-à-dire 0,1 et 1% de monocouche, soit 10 12 -10 13 atomes/cm 2 . L’évolution a permis d’obtenir une résolution en
énergie de 0,4 eV et une résolution latérale de 5-150 µm limitée par la source des RX.
E L
E L
E [eV] eV]
2
6
8
4
0
3 0 0
2 90
2 8 5
2 8 0
2 95
× 10
3
N( N( N E)/E
/E /
Fig. 3.18 Enveloppe du pic de C 1s d’un élastomère.
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3.6.3 Expliquer la variation du déplacement entre CF-CF 2 et CF 3 dans la figure
3.18.
3.6.4 Déterminer le libre parcours moyen pour les pics de l’Au 4f 7/2 , le pic Auger
de l’Au (NOO à 84 eV) et le pic Ag3d 3/2 à l’aide de (3.11b).
3.6.5 Calculer le rapport des facteurs de sensibilité des pics principaux pour Si/O,
Cr/C et Au/Ag à l’aide du tableau A1.
3.6.6 Calculer le paramètre Auger α' pour les pics principaux de cuivre à l’aide de
(3.8):
Cu 2p 932,6 eV, LMM 917,7 eV; CuO 2p 933,7 eV, LMM 918,1 eV
Cu 2 O 2p 932,5 eV, LMM 917 eV.
3.6.7 Déterminer le déplacement chimique entre CH 2 et CO à l’aide du tableau 3.3.
3.7 RÉSUMÉ
La spectroscopie des photoélectrons ESCA/XPS est une méthode d’analyse
chimique de surface dont la profondeur est en moyenne de 1-5 nm soit 3-15 monocouches atomiques pour les échantillons solides. Elle détecte tous les éléments, du
Lithium à l’Uranium. Le volume d’analyse varie entre 100 et 10 5 µm 3 avec une limite
de détection entre 0,1 et 1% atomique de ce volume, c’est-à-dire 0,1 et 1% de monocouche, soit 10 12 -10 13 atomes/cm 2 . L’évolution a permis d’obtenir une résolution en
énergie de 0,4 eV et une résolution latérale de 5-150 µm limitée par la source des RX.
E L
E L
E [eV] eV]
2
6
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0
3 0 0
2 90
2 8 5
2 8 0
2 95
× 10
3
N( N( N E)/E
/E /
Fig. 3.18 Enveloppe du pic de C 1s d’un élastomère.