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Analyse et technologie des surfaces
avec c A, ox : concentration de A dans la couche d’oxyde.
c A, sub : concentration de A dans le substrat.
Dans le cas où on n’a pas de couche de contamination, (l 1 = 0) et l 2 = l film ,
avec l 2 qui représente l’épaisseur de la couche (par exemple une couche d’oxyde),
on peut mettre en évidence l’épaisseur d’une couche superficielle l film :
(3.23)
L’équation (3.23) est une équation très utile, parce qu’elle permet de calculer
l’épaisseur d’une couche (p.e. d’un oxyde) à partir des données expérimentales du
substrat et de la couche. Les intensités de l’élément A dans le substrat, I A, sub , et
dans la couche, I A, film , sont respectivement les intensités des pics du substrat et de
l’oxyde comme illustré par la figure 3.5 qui montre les aires de l’oxyde et de l’aluminium avec
= 0,078 mol · cm –3 et c Al, Ae = 0,1 mol · cm –3 en supposant
que
.
3.6 EXERCICES
3.6.1 Identifier les pics d’un spectre (fig. 3.17) d’un alliage Fe-Cr oxydé à l’aide du
tableau A2.
3.6.2 Identifier les 5 bandes du pic C1s (fig. 3.18) d’un élastomère de type:
à l’aide du tableau 3.5.
l film
λ A film
,
θ
1
λ A sub
,
λ A film
,
--------------- -
c A sub
,
c A film
,
--------------I A film
,
I A sub
,
-------------- -
+
ln
⋅
cos
=
c Al Al 2 0 3
,
λ Al 2 0 3
λ Al
=
CF – CF 2
|
CF 3
x
CF 2 CH 2
–
y
–
1000
800
600
400
200
0
E L [eV]
2
1
0
N(E)/E
3 × 10 3
Fig. 3.17 Spectre d’un alliage Fe-Cr oxydé.