Spectroscopie des photoélectrons
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avec c A, sub : concentration dans le volume.
c A, surf : concentration en surface.
l e :
longueur caractéristique du profil exponentiel (fig. 3.16).
L’équation (3.20) peut être également appliquée à l’analyse de couches très minces dont l’épaisseur est plus petite que la profondeur analysée Λ avec Λ = λ cosθ.
Le cas (c) – plusieurs couches – est le cas le plus souvent rencontré dans les
applications; par exemple, un échantillon avec une couche d’oxyde recouverte
d’une couche de contamination. L’intégration de (3.14a) donne pour l’intensité de
l’élément A de l’oxyde et du substrat:
(3.22a)
(3.22b)
I A ox
,
g λ
θ c A sub
,
l 1
λ 1
θ
cos
----------------- -
–



 1
l 2
λ 2
θ
cos
----------------- -
–




exp
–
exp
⋅
⋅
cos
⋅
=
I A sub
,
g λ
θ c A sub
,
l 1
λ 1
θ
cos
----------------- -
l 2
λ 2
θ
cos
----------------- -
+




–
exp
⋅
⋅
cos
⋅
=
c A
c A
c A
z
z
z
(a)
(b)
(c)
I e
I 1 I 2
Fig. 3.16 Illustration des couches l x sur un échantillon; (a) concentration uniforme (voir (3.15);
(b) profil exponentiel – voir (3.20); (c) solide couvert d’une couche 1, par exemple: couche de
contamination sur une couche 2 (par exemple une couche d’oxyde) – (voir (3.21) et (3.22)).