Spectroscopie des photoélectrons
33
l’absence des effets de charging, la largeur des pics mesurés est ainsi déterminée
soit par la largeur de la raie de la source (c-à-d. K α ), soit par E pass .
Après avoir traversé l’analyseur, le nombre des photoélectrons N(E) est
compté en fonction de leur énergie à l’aide d’un détecteur d’électrons. On varie la
différence de potentiel appliquée entre les deux hémisphères de l’analyseur et on
détermine ainsi l’énergie cinétique E cin qui peut être convertie en énergie de liaison,
selon les équations (3a) et (3b). N(E) ou N(E)/E en fonction de l’énergie constitue
le résultat de l’analyse XPS. La division par l’énergie est utilisée pour amplifier les
pics à basse énergie.
3.4.2 Monochromateur
On a constaté que l’analyseur et la source de radiation déterminent la résolution en énergie. Pour améliorer la résolution, on peut éliminer le pic K α2 du doublet
AlK α1 , α2 et donc réduire la largeur de la raie primaire (§ 3.2.1). Cette procédure est
appelée monochromatisation qui élimine également des pics satellites. Son principe est illustré par la figure 3.10.
Une source d’électrons de quelques keV bombarde l’anode en Al et provoque
une émission de RX, y compris les satellites. La sélection d’une longueur d’onde
(monochromatisation) est obtenue par une diffraction sur un cristal selon la loi de
Bragg:
(3.10)
avec n:
ordre de la diffraction.
λ': longueur d’onde de la radiation RX.
d:
espacement interatomique.
β:
angle de Bragg.
Pour la radiation Al K α , un monocristal de SiO 2 est utilisé avec β = 23˚. La
source, le cristal et l’échantillon analysé se trouvent sur la surface d’un cercle de
nλ'
2d β
sin
=
cercle de Rowland
cristal
source RX
échantillon
lentilles et
analyseur
détecteur
diaphragmes
Fig. 3.10 Schéma d’un monochromateur RX.
33
l’absence des effets de charging, la largeur des pics mesurés est ainsi déterminée
soit par la largeur de la raie de la source (c-à-d. K α ), soit par E pass .
Après avoir traversé l’analyseur, le nombre des photoélectrons N(E) est
compté en fonction de leur énergie à l’aide d’un détecteur d’électrons. On varie la
différence de potentiel appliquée entre les deux hémisphères de l’analyseur et on
détermine ainsi l’énergie cinétique E cin qui peut être convertie en énergie de liaison,
selon les équations (3a) et (3b). N(E) ou N(E)/E en fonction de l’énergie constitue
le résultat de l’analyse XPS. La division par l’énergie est utilisée pour amplifier les
pics à basse énergie.
3.4.2 Monochromateur
On a constaté que l’analyseur et la source de radiation déterminent la résolution en énergie. Pour améliorer la résolution, on peut éliminer le pic K α2 du doublet
AlK α1 , α2 et donc réduire la largeur de la raie primaire (§ 3.2.1). Cette procédure est
appelée monochromatisation qui élimine également des pics satellites. Son principe est illustré par la figure 3.10.
Une source d’électrons de quelques keV bombarde l’anode en Al et provoque
une émission de RX, y compris les satellites. La sélection d’une longueur d’onde
(monochromatisation) est obtenue par une diffraction sur un cristal selon la loi de
Bragg:
(3.10)
avec n:
ordre de la diffraction.
λ': longueur d’onde de la radiation RX.
d:
espacement interatomique.
β:
angle de Bragg.
Pour la radiation Al K α , un monocristal de SiO 2 est utilisé avec β = 23˚. La
source, le cristal et l’échantillon analysé se trouvent sur la surface d’un cercle de
nλ'
2d β
sin
=
cercle de Rowland
cristal
source RX
échantillon
lentilles et
analyseur
détecteur
diaphragmes
Fig. 3.10 Schéma d’un monochromateur RX.