34
Analyse et technologie des surfaces
Rowland. L’aire irradiée par les RX monochromatiques dépend de la focalisation
de la source électronique primaire. En général, elle se situe entre 5 µm et quelques
mm de diamètre. Une telle source a plusieurs avantages, comme une meilleure
résolution en énergie (0,4 eV) et la séparation entre la source RX et l’échantillon.
Cette séparation permet de réduire le bombardement de l’échantillon avec des électrons rétrodiffusés par la source RX et de réduire une dégradation par le flux des
RX. L’inconvénient d’un monochromateur est que l’échantillon se charge positivement lors de l’émission des photoélectrons et demande alors une compensation de
charge pour les isolants. La figure 3.11 illustre les raies RX K α1 et K α2 de l’aluminium et indique que la largeur du pic K α1 est plus petite que l’enveloppe de
l’ensemble des deux raies.
3.4.3 Profondeur analysée
La profondeur analysée, z, est déterminée par le libre parcours moyen, λ, des
photoélectrons dans la matière condensée. λ est la distance de libre circulation d’un
électron sans interaction avec un atome ou un autre électron. Si un électron est créé
à une distance, z, plus petite que λ, il peut sortir de l’échantillon. On admet en
général que z = 3Λ, où Λ est la profondeur d’échappement des électrons définie par:
(3.11a)
avec Λ: profondeur d’échappement.
λ:
libre parcours moyen.
θ:
angle d’émission par rapport à la normale de l’échantillon.
Λ
λ E
( )
θ
cos
=
1484
1485
1486
1487
1488
1489
E [eV]
0,7 eV
0,7 eV
largeur = 1,0 eV
Al K α1, α2
intensité I
Fig. 3.11 Doublet RX d’Al, d’après [3.1].
Analyse et technologie des surfaces
Rowland. L’aire irradiée par les RX monochromatiques dépend de la focalisation
de la source électronique primaire. En général, elle se situe entre 5 µm et quelques
mm de diamètre. Une telle source a plusieurs avantages, comme une meilleure
résolution en énergie (0,4 eV) et la séparation entre la source RX et l’échantillon.
Cette séparation permet de réduire le bombardement de l’échantillon avec des électrons rétrodiffusés par la source RX et de réduire une dégradation par le flux des
RX. L’inconvénient d’un monochromateur est que l’échantillon se charge positivement lors de l’émission des photoélectrons et demande alors une compensation de
charge pour les isolants. La figure 3.11 illustre les raies RX K α1 et K α2 de l’aluminium et indique que la largeur du pic K α1 est plus petite que l’enveloppe de
l’ensemble des deux raies.
3.4.3 Profondeur analysée
La profondeur analysée, z, est déterminée par le libre parcours moyen, λ, des
photoélectrons dans la matière condensée. λ est la distance de libre circulation d’un
électron sans interaction avec un atome ou un autre électron. Si un électron est créé
à une distance, z, plus petite que λ, il peut sortir de l’échantillon. On admet en
général que z = 3Λ, où Λ est la profondeur d’échappement des électrons définie par:
(3.11a)
avec Λ: profondeur d’échappement.
λ:
libre parcours moyen.
θ:
angle d’émission par rapport à la normale de l’échantillon.
Λ
λ E
( )
θ
cos
=
1484
1485
1486
1487
1488
1489
E [eV]
0,7 eV
0,7 eV
largeur = 1,0 eV
Al K α1, α2
intensité I
Fig. 3.11 Doublet RX d’Al, d’après [3.1].