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Analyse et technologie des surfaces
A l’entrée de l’analyseur se trouve un système de lentilles électrostatiques, de
diaphragmes et un filtre d’énergie qui définissent:
• l’aire A vue par l’analyseur (lentille I),
• la précision ∆θ de l’angle d’émission,
• la résolution en énergie des photoélectrons ∆E.
Le système des lentilles II réduit l’énergie E cin .
Le point focal de l’analyseur est déterminé par maximalisation de l’intensité
des photoélectrons mesurés par le détecteur. La position de l’échantillon peut être
changée dans la direction des trois axes x, y, et z, tournée et pivotée par rapport à
l’axe de l’analyseur pour changer l’angle d’émission des photoélectrons. En
déplaçant l’échantillon, on peut varier le point d’analyse et ainsi obtenir l’information sur la composition chimique à travers une ligne ou une surface. L’aire de la surface analysée est déterminée par le choix des diaphragmes situés à l’entrée du système électro-optique, par la lentille I de focalisation, et par la lentille II à l’intérieur
de l’analyseur.
L’analyseur CHA est utilisé en mode de résolution d’énergie constante, qui
ralentit les photoélectrons à une énergie de passage E pass = constante. ∆E est en
général 2% de E pass, par exemple pour une énergie E pass de 50 V, on obtient
∆E = 1 eV pour l’analyseur. Toutefois, l’amélioration de la résolution en énergie
contrôlée par la lentille II (fig. 3.9) entraîne une réduction de l’intensité. En
50 cm
détecteur
lentille II
diaphragme
lentille I
échantillon
hν
θ s
V 1
V 2
E pass
Fig. 3.9 Coupe d’un analyseur hémisphérique (CHA) : ∆E/E pass = constant, θ S = 90 – θ, V 1 et V 2 sont
les potentiels appliqués à l’analyseur. La dimension d’un échantillon typique est ≤ 1 cm 2 .
Analyse et technologie des surfaces
A l’entrée de l’analyseur se trouve un système de lentilles électrostatiques, de
diaphragmes et un filtre d’énergie qui définissent:
• l’aire A vue par l’analyseur (lentille I),
• la précision ∆θ de l’angle d’émission,
• la résolution en énergie des photoélectrons ∆E.
Le système des lentilles II réduit l’énergie E cin .
Le point focal de l’analyseur est déterminé par maximalisation de l’intensité
des photoélectrons mesurés par le détecteur. La position de l’échantillon peut être
changée dans la direction des trois axes x, y, et z, tournée et pivotée par rapport à
l’axe de l’analyseur pour changer l’angle d’émission des photoélectrons. En
déplaçant l’échantillon, on peut varier le point d’analyse et ainsi obtenir l’information sur la composition chimique à travers une ligne ou une surface. L’aire de la surface analysée est déterminée par le choix des diaphragmes situés à l’entrée du système électro-optique, par la lentille I de focalisation, et par la lentille II à l’intérieur
de l’analyseur.
L’analyseur CHA est utilisé en mode de résolution d’énergie constante, qui
ralentit les photoélectrons à une énergie de passage E pass = constante. ∆E est en
général 2% de E pass, par exemple pour une énergie E pass de 50 V, on obtient
∆E = 1 eV pour l’analyseur. Toutefois, l’amélioration de la résolution en énergie
contrôlée par la lentille II (fig. 3.9) entraîne une réduction de l’intensité. En
50 cm
détecteur
lentille II
diaphragme
lentille I
échantillon
hν
θ s
V 1
V 2
E pass
Fig. 3.9 Coupe d’un analyseur hémisphérique (CHA) : ∆E/E pass = constant, θ S = 90 – θ, V 1 et V 2 sont
les potentiels appliqués à l’analyseur. La dimension d’un échantillon typique est ≤ 1 cm 2 .