Spectroscopie des photoélectrons
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mettant en jeux ces niveaux, peuvent accompagner l’éjection d’un électron de cœur.
Dans ce cas, au lieu de satellites discrets, on obtient un élargissement non symétrique du pic principal du côté des hautes énergies de liaison. Cet effet est d’autant
plus marqué que la densité d’états au niveau de Fermi augmente. Il faut garder en
mémoire cette asymétrie du côté des hautes énergies de liaison, surtout si on est
amené à déconvoluer des pics XPS de métaux. La figure 3.8 donne l’exemple de
cette asymétrie pour le cas du Fe (courbe hachurée). Un second spectre, celui d’une
couche de 1,3 nm d’oxyde de fer, est représenté également [3.5]. Grâce à cette faible épaisseur les pics du métal et de l’oxyde (Fe 2 O 3 ) sont visibles ensemble.
3.4 INSTRUMENTATION
Dans cette section, nous allons présenter des composants analytiques importants en XPS comme l’analyseur et le monochromateur, et discuter la profondeur
analysée et la résolution spectrale.
3.4.1 Spectromètre
L’analyseur concentrique hémisphérique (CHA), avec un système de transfert
électro-optique des photoélectrons, est le type d’analyseur le plus souvent utilisé.
La figure 3.9 montre le schéma et le principe de fonctionnement de l’analyseur. Il se
trouve dans un système à ultravide (UHV) à des pressions de 10 –6 à 10 –8 Pa. Une
source non monochromatique et non focalisée (diamètre du faisceau primaire RX:
environ 1-2 mm) provoque l’émission des photoélectrons.
740
720
700
E L [eV]
N(E)/E
Fe-mét
Fig. 3.8 Exemple d’une asymétrie des pics illustrée par le spectre de Fe 2p (3 /2 et 1/2) du métal et
de l’oxyde. L’intensité N(E) divisée par l’énergie de liaison E est tracée en fonction de l’énergie de
liaison; la source RX utilisée est Mg K α .
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mettant en jeux ces niveaux, peuvent accompagner l’éjection d’un électron de cœur.
Dans ce cas, au lieu de satellites discrets, on obtient un élargissement non symétrique du pic principal du côté des hautes énergies de liaison. Cet effet est d’autant
plus marqué que la densité d’états au niveau de Fermi augmente. Il faut garder en
mémoire cette asymétrie du côté des hautes énergies de liaison, surtout si on est
amené à déconvoluer des pics XPS de métaux. La figure 3.8 donne l’exemple de
cette asymétrie pour le cas du Fe (courbe hachurée). Un second spectre, celui d’une
couche de 1,3 nm d’oxyde de fer, est représenté également [3.5]. Grâce à cette faible épaisseur les pics du métal et de l’oxyde (Fe 2 O 3 ) sont visibles ensemble.
3.4 INSTRUMENTATION
Dans cette section, nous allons présenter des composants analytiques importants en XPS comme l’analyseur et le monochromateur, et discuter la profondeur
analysée et la résolution spectrale.
3.4.1 Spectromètre
L’analyseur concentrique hémisphérique (CHA), avec un système de transfert
électro-optique des photoélectrons, est le type d’analyseur le plus souvent utilisé.
La figure 3.9 montre le schéma et le principe de fonctionnement de l’analyseur. Il se
trouve dans un système à ultravide (UHV) à des pressions de 10 –6 à 10 –8 Pa. Une
source non monochromatique et non focalisée (diamètre du faisceau primaire RX:
environ 1-2 mm) provoque l’émission des photoélectrons.
740
720
700
E L [eV]
N(E)/E
Fe-mét
Fig. 3.8 Exemple d’une asymétrie des pics illustrée par le spectre de Fe 2p (3 /2 et 1/2) du métal et
de l’oxyde. L’intensité N(E) divisée par l’énergie de liaison E est tracée en fonction de l’énergie de
liaison; la source RX utilisée est Mg K α .