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Analyse et technologie des surfaces
L’énergie de liaison du pic Auger dans le spectre XPS se calcule selon l’équation
(3.5):
(3.5)
où les indices «L» et «cin» indiquent respectivement l’énergie de liaison et l’énergie cinétique et où l’exposant «AES» identifie ce phénomène Auger (AES: Auger
Electron Spectroscopy). Rappelons que l’énergie de la source des rayons X est donnée par le tableau 3.1. Les énergies cinétiques des principaux pics des photoélectrons et des pics Auger sont indiquées au tableau A1 en annexe.
Les transitions Auger qui sont liées à l’émission de deux électrons de cœur
ont souvent un pic très intense qui peut être utilisé pour la mise en évidence du
déplacement chimique. Dans ce cas, on utilise le paramètre Auger α. Il est défini
comme
(3.6)
où l’exposant «ph» identifie le photoélectron. Le paramètre α correspond soit à la
différence des énergies cinétiques soit à celle de liaison entre les transitions Auger
E L
AES
hν E cin
AES Φ A
–
–
=
α
E cin
AES E cin
ph
–
E L
ph E L
AES
–
=
=
938
936
934
932
1853
1852
1851
1850
1849
1848
1847
1846
921
920
919
918
917
916
915
914
Cu
CuO
CuCl 2
CuCl
CuSO 4
CuF 2
Cu 2 O
α + hν
E
cin
AES
eV
[ ]
Fig. 3.6 Déplacement chimique de Cu 2p 3/2 , mis en évidence par le paramètre Auger α en utilisant le
pic Auger Cu L 3 MM, d’après [3.4].
E L
ph eV
[ ]