Revêtements à partir d’une phase gazeuse (PVD/CVD)
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avec n le nombre de degré de liberté de l’atome. Un atome de gaz porte toute son
énergie sous forme de translation et nous avons
(15.16)
avec 〈v 2 〉, la vitesse quadratique moyenne de l’atome.
Pour le transport, nous rencontrerons deux situations:
• Une distribution de vitesse isotrope, telle que nous la trouvons au centre
d’un four. Dans ce cas:
• Une jet, tel qu’il sort de l’ouverture d’un four ou d’une enceinte auxiliaire de
plasma. Dans le premier cas, nous trouverons:
(15.17)
(15.18)
(15.19)
Dans le deuxième cas, nous aurons pour le jet, qui se dirige dans la direction
z:
〈v x 〉 = 〈v v 〉 = 0
(15.20)
Une autre caractéristique du régime moléculaire est la distance de libre parcours moyen des molécules du gaz i 〈l i 〉. Toujours dans les mêmes limites de la
théorie du gaz quasi idéal, on trouve
(15.21)
E
〈 〉
m
2
--- - v 2
〈 〉
3
2
-- - kT
=
=
v x
2
v y
2
v z
2
1
3
-- - v 2
〈 〉
=
=
=
m
2
--- - v 2
〈 〉
3
2
-- - kT
=
M i
N A
------- v 2
〈 〉
3kT
=
v
〈 〉
3RT
M i
---------- -
=
v x
〈 〉
RT
M i
------=
v z
〈 〉
RT four
M i
-------------- -
=
l i
〈 〉
1
4 2π N j r ij
2
j
∑
---------------------------------- -
=