MATERIELS ET METHODES
PARTIE EXPERIMENTALE
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Les principales caractéristiques de la microscopie électronique à balayage sont
regroupées dans le tableau qui suit :
Tableau 6 : Caractéristiques de la Microscopie Electronique à Balayage (Faerber, 2004).
MEB
Informations principales
-Morphologie
-Effet de relief
-Profondeur de champs
-Grandissement de 10× à 500.000×
-Imagerie
de
la
répartition
de
l’inhomogénéité de composition sans
identification de l’élément.
Informations absentes
Pas d’informations structurales autres que les
formes cristallines « macroscopiques ».
Résolution latérale
1,2nm ultime jusqu’à 10 à 50nm en pratique.
Dépendant de l’énergie du courant et du type
de MEB (Source optique, détection).