1.2 Technologie des plasmas
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millitorrs, dans ces structures RF, les collisions sont insuffisantes pour expliquer l’absorption du champ électromagnétique par les électrons, un deuxième mécanisme de
transfert d’énergie du champ vers la population électronique entre en jeu : le chauffage stochastique. Du point de vue du physicien, ce mécanisme est essentiellement
un régime de couplage champ-particule en régime chaotique ; on voit donc que les
réacteurs RF, comme beaucoup de systèmes de haute technologie, sont le lieu privilégié de rencontre entre la physique appliquée et la physique fondamentale.
A
B
C
Figure 1.8 Réacteur radiofréquence inductif du Laboratoire de Physique et Technologie
des Plasmas de l’École Polytechnique.
Le chauffage stochastique, les instabilités et les transitions entre régimes dans les
réacteurs RF sont autant de sujets de recherches qui nécessitent la mise en oeuvre
de l’ensemble des méthodes et outils théoriques et expérimentaux de la physique des
plasmas. La physico-chimie des plasmas et plus particulièrement la compréhension
et la maîtrise des cinétiques des espèces actives participant aux processus de dépôt
et de gravure, constitue un deuxième sujet de recherches extrêmement actif, compte
tenu de l’impact direct de ces études sur les procédés et opérations de fabrication des
composants microélectroniques. La figure 1.8 présente un réacteur inductif ouvert,
la chambre de confinement (C) du plasma est de même volume que dans le cas capacitif mais la structure de couplage (B) est ici de nature inductive et les problèmes
de transfert de puissance nécessitent l’usage des techniques classiques d’adaptation
d’impédance (A).
Avant de clore ce paragraphe d’introduction aux réacteurs, présentons les plus
anciens réacteurs plasma industriels, les réacteurs de piégeage de poussières, dont
les brevets datent du début du XX
e siècle. De nombreuse industries, telles que les
cimenteries ou les centrales thermiques au charbon, rejettent des effluents gazeux
très poussiéreux, les systèmes de filtrage classiques ne sont pas adaptés à la taille
et aux flux de ces poussières et les procédés de dépoussiérage mis en place dans
ces industries utilisent des réacteurs (à) plasma construit autour d’une décharge
couronne.
© Dunod – La photocopie non autorisée est un délit
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millitorrs, dans ces structures RF, les collisions sont insuffisantes pour expliquer l’absorption du champ électromagnétique par les électrons, un deuxième mécanisme de
transfert d’énergie du champ vers la population électronique entre en jeu : le chauffage stochastique. Du point de vue du physicien, ce mécanisme est essentiellement
un régime de couplage champ-particule en régime chaotique ; on voit donc que les
réacteurs RF, comme beaucoup de systèmes de haute technologie, sont le lieu privilégié de rencontre entre la physique appliquée et la physique fondamentale.
A
B
C
Figure 1.8 Réacteur radiofréquence inductif du Laboratoire de Physique et Technologie
des Plasmas de l’École Polytechnique.
Le chauffage stochastique, les instabilités et les transitions entre régimes dans les
réacteurs RF sont autant de sujets de recherches qui nécessitent la mise en oeuvre
de l’ensemble des méthodes et outils théoriques et expérimentaux de la physique des
plasmas. La physico-chimie des plasmas et plus particulièrement la compréhension
et la maîtrise des cinétiques des espèces actives participant aux processus de dépôt
et de gravure, constitue un deuxième sujet de recherches extrêmement actif, compte
tenu de l’impact direct de ces études sur les procédés et opérations de fabrication des
composants microélectroniques. La figure 1.8 présente un réacteur inductif ouvert,
la chambre de confinement (C) du plasma est de même volume que dans le cas capacitif mais la structure de couplage (B) est ici de nature inductive et les problèmes
de transfert de puissance nécessitent l’usage des techniques classiques d’adaptation
d’impédance (A).
Avant de clore ce paragraphe d’introduction aux réacteurs, présentons les plus
anciens réacteurs plasma industriels, les réacteurs de piégeage de poussières, dont
les brevets datent du début du XX
e siècle. De nombreuse industries, telles que les
cimenteries ou les centrales thermiques au charbon, rejettent des effluents gazeux
très poussiéreux, les systèmes de filtrage classiques ne sont pas adaptés à la taille
et aux flux de ces poussières et les procédés de dépoussiérage mis en place dans
ces industries utilisent des réacteurs (à) plasma construit autour d’une décharge
couronne.
© Dunod – La photocopie non autorisée est un délit