CHAPITRE 7 - ÉTUDE DE CAS
305
La sélection du substrat et l'ajustement de la composition gazeuse seront
définis en fonction de l'objectif : favoriser la qualité cristallographique (avoir u n
bon semi-conducteur ou u n bon matériau optique), rechercher des couches protectrices contre les agressions chimiques (avoir une couche non poreuse), obtenir une couche abrasive (avoir la couche la plus rugueuse et la plus adhérente
possible).
L a spectroscopie des electrons Auger permet de distinguer les divers états
d'hybridation des orbitales en se fondant sur l'analyse de la forme de la transition Kw du carbone qui est très sensible à la structure de bande du matériau.
L a figure 7.22 montre les différents états du carbone : << diamant », << graphite »,
<< amorphe ». L'état << carbure >> donnerait encore une autre forme caractéristique
de raie. I1 est possible d'obtenir u n ajustement des raies expérimentales en combinant linéairement les diverses raies correspondant aux états étalons.
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200
220
240
260
280
300
Énergie cinétique (eV)
Fig. 7.22. Changements de la forme des pics Auger K W en fonction de l'état du carbone.
L a figure 7.23 montre ainsi l'évolution des espèces carbonées en fonction du
temps de dépôt sur du cuivre polycristallin poli à la pâte diamantée. Les concentrations de graphite et de diamant restent constantes pendant la première heure
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La sélection du substrat et l'ajustement de la composition gazeuse seront
définis en fonction de l'objectif : favoriser la qualité cristallographique (avoir u n
bon semi-conducteur ou u n bon matériau optique), rechercher des couches protectrices contre les agressions chimiques (avoir une couche non poreuse), obtenir une couche abrasive (avoir la couche la plus rugueuse et la plus adhérente
possible).
L a spectroscopie des electrons Auger permet de distinguer les divers états
d'hybridation des orbitales en se fondant sur l'analyse de la forme de la transition Kw du carbone qui est très sensible à la structure de bande du matériau.
L a figure 7.22 montre les différents états du carbone : << diamant », << graphite »,
<< amorphe ». L'état << carbure >> donnerait encore une autre forme caractéristique
de raie. I1 est possible d'obtenir u n ajustement des raies expérimentales en combinant linéairement les diverses raies correspondant aux états étalons.
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Énergie cinétique (eV)
Fig. 7.22. Changements de la forme des pics Auger K W en fonction de l'état du carbone.
L a figure 7.23 montre ainsi l'évolution des espèces carbonées en fonction du
temps de dépôt sur du cuivre polycristallin poli à la pâte diamantée. Les concentrations de graphite et de diamant restent constantes pendant la première heure