304
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
fonction du pourcentage de méthane. L a morphologie se modifie sensiblement à
partir de 1 % de méthane : les faces (100) croissent a u détriment des faces (1 11).
Au-delà, vers 2 % de CH,, les faces cristallines ne sont même plus définies et on
obtient une morphologie en cc chou-fleur >> qui atteste de la présence de nombreux
défauts cristallographiques. En revanche, si les cristaux sont moins beaux, la
continuité de la couche semble assurée à partir de cette concentration en
méthane.
[CH,] = 0,75 Yo
[CH,] = 0,35 Yo
[CH,] = 2 O h
Fig. 7.21. Morphologie de couches de diamant obtenues par CVD en fonction de la teneur en
méthane du mélange réactif (clichés IPCMS-GSI).
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
fonction du pourcentage de méthane. L a morphologie se modifie sensiblement à
partir de 1 % de méthane : les faces (100) croissent a u détriment des faces (1 11).
Au-delà, vers 2 % de CH,, les faces cristallines ne sont même plus définies et on
obtient une morphologie en cc chou-fleur >> qui atteste de la présence de nombreux
défauts cristallographiques. En revanche, si les cristaux sont moins beaux, la
continuité de la couche semble assurée à partir de cette concentration en
méthane.
[CH,] = 0,75 Yo
[CH,] = 0,35 Yo
[CH,] = 2 O h
Fig. 7.21. Morphologie de couches de diamant obtenues par CVD en fonction de la teneur en
méthane du mélange réactif (clichés IPCMS-GSI).