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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Dans ce dispositif du type triode-magnétron, on utilise des cibles en acier
inoxydable type 316L. Les ions argon arrachent des atomes des cibles qui se
déposent sur les substrats en même temps que des atomes de carbone provenant de la décomposition du méthane. On obtient une couche microcristalline
ou amorphe, très dure, d’acier inoxydable dopé au carbone.
2.3. Nitruration CVD assistée plasma avec diffusion
Après nettoyage des surfaces a traiter (alliages de titane) dans un plasma argonhydrogène, destiné a supprimer la couche d’oxydes, on forme un plasma sous
azote avec apport de TiC1,.
II ,
Alimentation
pulsée
/
Éléments
chauffants .
+
Vers
pompe
a vide
Piège
cryogénique
Fig. 7.11. Nitruration CVD assistée plasma avec diffusion.