CHAPITRE 7 - ÉTUDE DE CAS
289
exactement la charge implantée en raison de la dispersion des charges et de la
forme du faisceau.
De bonnes conditions de traitement pour améliorer la tenue a la fatigue sont :
courant faisceau 200 PA, énergie 40-50 keV, dose de l’ordre de 1017 ions.cm-2
d ’ a ~ o t e [ ~ ) [ ~ ) .
2.2. Dépôts par plasma froid
Le réacteur fonctionne sous faible pression partielle (0,4 Pa) d’un mélange argonméthane.
Porte-substrats
- 500
Orifice de pornpag
Fig. 7.10. Dépôt par plasma froid d’acier inoxydable dopé carbone.
(4) Mille P. et al., Effects of unanalyzed mass ion implantation on @+JI Ti-GAI-4Vfatigue
limit, Sixth world conference on titanium, Cannes 6-9 juin 1988 (Les Éditions de Physique,
1988).
(5) Lallemand V. et al., Étude par diffraction X d’un acier inoxydable traite par implantation ionique à haute énergie, J. Phys. NFrance 6 (1996) 475-480.
289
exactement la charge implantée en raison de la dispersion des charges et de la
forme du faisceau.
De bonnes conditions de traitement pour améliorer la tenue a la fatigue sont :
courant faisceau 200 PA, énergie 40-50 keV, dose de l’ordre de 1017 ions.cm-2
d ’ a ~ o t e [ ~ ) [ ~ ) .
2.2. Dépôts par plasma froid
Le réacteur fonctionne sous faible pression partielle (0,4 Pa) d’un mélange argonméthane.
Porte-substrats
- 500
Orifice de pornpag
Fig. 7.10. Dépôt par plasma froid d’acier inoxydable dopé carbone.
(4) Mille P. et al., Effects of unanalyzed mass ion implantation on @+JI Ti-GAI-4Vfatigue
limit, Sixth world conference on titanium, Cannes 6-9 juin 1988 (Les Éditions de Physique,
1988).
(5) Lallemand V. et al., Étude par diffraction X d’un acier inoxydable traite par implantation ionique à haute énergie, J. Phys. NFrance 6 (1996) 475-480.