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A. CORNET e t J.-P. DEVILLE
dizaine d‘éléments chimiques, qui peuvent être présents sous deux ou trois états
de liaison chimique différents. L a figure 5.63 illustre cette propriété dans u n cas
typique de croissance en électrochimie.
O
Ti
500
1 O00
€,(eV)
Fig. 5.63. Spectres XPS de titane passive en milieu sulfurique : (a) x 1, (b) x 3, (c) x 10 le soufre
est sous deux états d’oxydation, (d) de 900 a 1 250 eV, (e) N 1s avec deux états d’oxydation :
NH, + = ammonium et @N = phenyl-amino, (9 Ti 2p avec deux états d’oxydation.
Analyse quantitative et sensibilité
Rappelons que le domaine d‘analyse couvre tous les numéros atomiques hormis
l’hydrogène. On peut détecter la présence d’un atome pour cent ou pour mille de
la surface du substrat. Les atomes lourds offrent la meilleure sensibilité, cependant c’est une des rares méthodes avec I’AES qui renseignent sur les atomes
légers (C, N, O...) avec une bonne précision. Ces sensibilités correspondent à
1012 à IOl3 at.cm-2. Si l’élément dosé est réparti également dans tout le volume
analysé, cela représente environ O , ] %. Si l’élément est ségrégé ou déposé en
surface, cela peut correspondre à quelques ppm en volume surtout si on peut
faire l’analyse en incidence rasante.