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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
de leur structure fine. Cependant, dans les systèmes les plus récents, on utilise
un simple comptage des électrons. I1 donne des résultats plus faciles à interpréter du point de vue de l’analyse quantitative.
6.7.3. L’AES, méthode d’analyse pour les surfaces
Comme il a été dit dans le chapitre 4, le concept d’analyse des surfaces a u
moyen de sondes électroniques repose sur la notion de libre parcours moyen
inelastique des électrons (inelastic meanfree path : IMFP) dans un solide. On
définit ce libre parcours moyen comme la distance A parcourue sans perte
d’énergie par un nombre d‘électrons N l e , avec N, le nombre d’électrons incidents
et e la base des logarithmes népériens égale à 2,718. La figure 5.59 montre que A
suit une loi quasi universelle avec un minimum aux environs de 0,4 nm.
2 0,5
7
Énergie cinétique d e s électrons (eV)
Fig. 5.59. Libre parcours moyen des electrons en fonction de leur énergie.
Les énergies primaires utilisées en analyse Auger sont toujours inférieures à
quelques keV pour favoriser le rendement Auger toA par rapport au rendement de
fluorescence aF, les transitions Auger émises auront ainsi une énergie maximale
de 1-3 keV, l’énergie minimale étant de quelques dizaines d’eV. L‘atténuation de
l’intensité I du signal Auger obéit classiquement à une loi de type Lambert-Beer.
(5.28)
où d est la distance parcourue par les électrons Auger. Un calcul simple montre
que les 213 du signal proviennent des atomes de la surface, 99 % d’une épaisseur