180
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Filament 4
-
I
Condenseur 1
Condenseur 2
t
Bobines de
balayage
Chauf. fil.
Alimentation
haute tension
5 à 4 0 k V
-
Anode
de balayage
Vers pompe
a vide
I
1
Fig. 5.17. Principe du microscope électronique a balayage.
2.2.2. Modes de fonctionnement
Dans l’interaction électron-matière, on tire profit soit des électrons secondaires
(c’est l’utilisation la plus courante), soit des électrons diffusés élastiquement,
soit des rayons X pour faire non plus de l’analyse morphologique mais de l’analyse chimique (Fig. 5.18).
Limage en électrons secondaires est caractérisée par une très bonne définition. L a résolution latérale va de 5 à 25 nm selon les appareils. Le grandissement
est le plus généralement compris entre x 20 O00 et x 50 000. Les images obtenues à partir des électrons élastiques (rétrodiffusés) ont une moins bonne résolution, de l’ordre de O, 1 ,urn et sont moins utilisées. Cependant, si on remplace le
scintillateur par u n détecteur à semi-conducteur capable d’une certaine discrimination en énergie des électrons rétrodiffusés, on peut avoir des images où le
contraste croît avec le numéro atomique des atomes constitutifs de la cible. Un
élément lourd donnera u n signal intense et apparaîtra en clair sur l’image alors
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Filament 4
-
I
Condenseur 1
Condenseur 2
t
Bobines de
balayage
Chauf. fil.
Alimentation
haute tension
5 à 4 0 k V
-
Anode
de balayage
Vers pompe
a vide
I
1
Fig. 5.17. Principe du microscope électronique a balayage.
2.2.2. Modes de fonctionnement
Dans l’interaction électron-matière, on tire profit soit des électrons secondaires
(c’est l’utilisation la plus courante), soit des électrons diffusés élastiquement,
soit des rayons X pour faire non plus de l’analyse morphologique mais de l’analyse chimique (Fig. 5.18).
Limage en électrons secondaires est caractérisée par une très bonne définition. L a résolution latérale va de 5 à 25 nm selon les appareils. Le grandissement
est le plus généralement compris entre x 20 O00 et x 50 000. Les images obtenues à partir des électrons élastiques (rétrodiffusés) ont une moins bonne résolution, de l’ordre de O, 1 ,urn et sont moins utilisées. Cependant, si on remplace le
scintillateur par u n détecteur à semi-conducteur capable d’une certaine discrimination en énergie des électrons rétrodiffusés, on peut avoir des images où le
contraste croît avec le numéro atomique des atomes constitutifs de la cible. Un
élément lourd donnera u n signal intense et apparaîtra en clair sur l’image alors