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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Chaîne de mesure
Discrimination
Mesure de l'énergie
Particules
Zone d'interactio
transmission
Fig. 5.1. Analyses de surface a l'aide de rayonnements.
Capteurs de mesure
Force
+ Loi de comportement
Déplacement
0
J +
Mouvement continu :
nanoindentation
Mouvement contini
Sonde (( mécanique ))
I - oscillation ' CSM
(indenteur)
Zone d'interaction
sonde-indenteur
= 1oz
Fig. 5.2. Analyses de surface par nanoindentation.
lesquelles le processus de l'interaction entre le << rayonnement sonde >> et l'échantillon a une grande section efficace : c'est pourquoi les méthodes utilisant des faisceaux incidents d'ions ou d'électrons sont aussi fréquentes. Les ions, s'ils ont une
énergie moyenne, ont une pénétration très faible, et étant chargés, peuvent se
focaliser. Les électrons ont une pénétration variable avec leur énergie et sont également susceptibles de fournir des faisceaux focalisés. On peut aussi utiliser des
faisceaux incidents de photons qui pénétreront loin dans la matière (quelques
micromètres) mais qui provoqueront l'éjection d'ions ou d'électrons qui ne pourront pas s'échapper de la matière s'ils sont émis trop profondément. Le cas des
champs est un peu différent puisque leur portée est en 1 /P.
L a première classification des méthodes d'analyse se fera donc en fonction de
la nature des << rayonnements x qui sont utilisés.
A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Chaîne de mesure
Discrimination
Mesure de l'énergie
Particules
Zone d'interactio
transmission
Fig. 5.1. Analyses de surface a l'aide de rayonnements.
Capteurs de mesure
Force
+ Loi de comportement
Déplacement
0
J +
Mouvement continu :
nanoindentation
Mouvement contini
Sonde (( mécanique ))
I - oscillation ' CSM
(indenteur)
Zone d'interaction
sonde-indenteur
= 1oz
Fig. 5.2. Analyses de surface par nanoindentation.
lesquelles le processus de l'interaction entre le << rayonnement sonde >> et l'échantillon a une grande section efficace : c'est pourquoi les méthodes utilisant des faisceaux incidents d'ions ou d'électrons sont aussi fréquentes. Les ions, s'ils ont une
énergie moyenne, ont une pénétration très faible, et étant chargés, peuvent se
focaliser. Les électrons ont une pénétration variable avec leur énergie et sont également susceptibles de fournir des faisceaux focalisés. On peut aussi utiliser des
faisceaux incidents de photons qui pénétreront loin dans la matière (quelques
micromètres) mais qui provoqueront l'éjection d'ions ou d'électrons qui ne pourront pas s'échapper de la matière s'ils sont émis trop profondément. Le cas des
champs est un peu différent puisque leur portée est en 1 /P.
L a première classification des méthodes d'analyse se fera donc en fonction de
la nature des << rayonnements x qui sont utilisés.