CHAPITRE 4 - BASES PHYSIQUES DE L’ANALYSE DES SURFACES
155
Pics de Yoneda
c< rugueux )>
(réflexion
diffuse)
spéculaire)
i - 3 E - 2 E - E 0 E 2E 3E
Rotation de la surface
Fig. 4.10. Allure générale d’un spectre de réflexion diffuse ; les amplitudes relatives de chaque pic
de Yoneda et du pic de réflexion spéculaire ainsi que la forme du spectre dépendent de chaque cas
particulier.
h est relié a la dimension fractale D (h = 3 - D ) et 4 correspond a la longueur de
corrélation. Cette représentation fractale à deux paramètres est caractéristique
des surfaces autoaffines (voir Annexe A). Bowen et
ont montre que le
modèle de Sinha donne des mesures de rugosité très cohérentes avec celles obtenues en microscopie à force atomique.
1.3. Interaction électron-matière
L a figure 4.1 1 montre schématiquement les divers phénomènes qui interviennent lors de l’interaction entre u n faisceau d’électrons et la matière. On illustre
les atomes de la matière par leurs niveaux d’énergie indiqués d’une part selon la
notation spectroscopique utilisée en fluorescence X (K, L , M...), d’autre part selon
la notation utilisée en photoémission (ls, 2s. 2p ... ).
1. des electrons élastiquement diffuses qui n’ont pas subi de pertes d‘énergie :
leur propagation peut se faire soit << en avant >> dans le solide, soit << en retour >> :
électrons rétrodiffusés (backscattered electrons). Ces électrons seront utilisés
pour étudier la structure cristallographique des surfaces et des interfaces.
On observe :
(13) Bowen D.K. et Worrnington M., Measurement of surface roughness and topography at
nanometer levels by diffuse X-ray scattering, CIRPANNALS 43 (1) (1994) 497-500.
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Pics de Yoneda
c< rugueux )>
(réflexion
diffuse)
spéculaire)
i - 3 E - 2 E - E 0 E 2E 3E
Rotation de la surface
Fig. 4.10. Allure générale d’un spectre de réflexion diffuse ; les amplitudes relatives de chaque pic
de Yoneda et du pic de réflexion spéculaire ainsi que la forme du spectre dépendent de chaque cas
particulier.
h est relié a la dimension fractale D (h = 3 - D ) et 4 correspond a la longueur de
corrélation. Cette représentation fractale à deux paramètres est caractéristique
des surfaces autoaffines (voir Annexe A). Bowen et
ont montre que le
modèle de Sinha donne des mesures de rugosité très cohérentes avec celles obtenues en microscopie à force atomique.
1.3. Interaction électron-matière
L a figure 4.1 1 montre schématiquement les divers phénomènes qui interviennent lors de l’interaction entre u n faisceau d’électrons et la matière. On illustre
les atomes de la matière par leurs niveaux d’énergie indiqués d’une part selon la
notation spectroscopique utilisée en fluorescence X (K, L , M...), d’autre part selon
la notation utilisée en photoémission (ls, 2s. 2p ... ).
1. des electrons élastiquement diffuses qui n’ont pas subi de pertes d‘énergie :
leur propagation peut se faire soit << en avant >> dans le solide, soit << en retour >> :
électrons rétrodiffusés (backscattered electrons). Ces électrons seront utilisés
pour étudier la structure cristallographique des surfaces et des interfaces.
On observe :
(13) Bowen D.K. et Worrnington M., Measurement of surface roughness and topography at
nanometer levels by diffuse X-ray scattering, CIRPANNALS 43 (1) (1994) 497-500.