80
Analyse et technologie des surfaces
Les valeurs typiques de R sont 1... 10, c’est-à-dire une résolution de masse
relative assez faible.
5.4.3 Spectromètres à secteur magnétique
Pour la microanalyse, il est particulièrement nécessaire de disposer d’une
bonne résolution en masse. On peut l’obtenir avec un analyseur à secteur magnétique comme celui illustré à la figure 5.7(a).
MS
L
ESA
ESA
A
L
IL
E
S
F
D
Fig. 5.7 (a) Schéma d’un spectromètre à secteur magnétique MS. Le champs magnétique est perpendiculaire à la trajectoire d’ions indiquée par (•). ; IL est la lentille d’immersion. (b) Schéma d’une
microsonde ionique : A le diaphragme, E l’échantillon, ESA l’analyseur électrostatique, IL lentille
d’immersion, F la cage de Faraday, L les lentilles, MS l’analyseur magnétique sectoriel, S le canon
ionique.
source
d’ions
échantillon
ions +
MS
IL
r
M
M + 1
M – 1
détecteur
(a)
(b)