TABLE DES MATIÈRES
PRÉSENTATION DU TRAITÉ DES MATÉRIAUX ..............
V
AVANT-PROPOS ..................................................................... VII
CHAPITRE 1 INTRODUCTION À L’ANALYSE DE SURFACES
ET INTERFACES
1.1 Objectifs...........................................................................
1
1.2 Propriétés de base ............................................................
1
1.3 Définition de la surface d’un solide.................................
1
1.4 Les méthodes d’analyse et leurs domaines d’application
3
1.5 Bibliographie ...................................................................
6
CHAPITRE 2 TOPOGRAPHIE ET ÉPAISSEUR DES COUCHES MINCES
2.1 Objectifs...........................................................................
7
2.2 Définition de quelques paramètres de rugosité................
7
2.3 Principe des mesures .......................................................
9
2.4 Exemples de mesures de rugosité....................................
15
2.5 Résumé ............................................................................
17
2.6 Exercices..........................................................................
18
2.7 Bibliographie ...................................................................
19
CHAPITRE 3 SPECTROSCOPIE DES PHOTOÉLECTRONS
3.1 Objectifs...........................................................................
21
3.2 Méthode ...........................................................................
21
3.3 Spectres des photoélectrons.............................................
22
3.4 Instrumentation................................................................
31
3.5 Analyse quantitative ........................................................
37
3.6 Exercices..........................................................................
42
3.7 Résumé ............................................................................
43
3.8 Bibliographie ...................................................................
44
CHAPITRE 4 SPECTROSCOPIE D’ÉLECTRONS AUGER
4.1 Objectifs...........................................................................
45
4.2 Méthode ...........................................................................
45
4.3 Spectres des électrons Auger ...........................................
46
4.4 Instrumentation................................................................
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