X
Analyse et technologie des surfaces
4.5 Analyse quantitative ........................................................
62
4.6 Exercices..........................................................................
66
4.7 Résumé ............................................................................
66
4.8 Bibliographie ...................................................................
67
CHAPITRE 5 SPECTROMÉTRIES IONIQUES
5.1 Objectifs...........................................................................
69
5.2 Méthode ...........................................................................
69
5.3 Principe............................................................................
70
5.4 Instrumentation................................................................
77
5.5 Analyse quantitative ........................................................
85
5.6 Postionisation...................................................................
86
5.7 Spectroscopie à décharge luminescente...........................
88
5.8 Exemples pratiques..........................................................
90
5.9 Exercices..........................................................................
92
5.10 Résumé ............................................................................
92
5.11 Bibliographie ...................................................................
93
CHAPITRE 6 PROFILS EN PROFONDEUR
6.1 Objectifs...........................................................................
95
6.2 Introduction .....................................................................
95
6.3 Vitesse et rendement du décapage ionique ......................
98
6.4 Résolution en profondeur ................................................
99
6.5 Décapage ionique préférentiel ......................................... 103
6.6 Analyse quantitative ........................................................ 105
6.7 Présentation de quelques exemples d’étude de profils .... 109
6.8 Exercices.......................................................................... 114
6.9 Résumé ............................................................................ 114
6.10 Bibliographie ................................................................... 115
CHAPITRE 7 SONDES NANOMÉTRIQUES
7.1 Objectifs........................................................................... 117
7.2 Famille des sondes........................................................... 117
7.3 Principe du microscope à effet tunnel ............................. 118
7.4 Modes d’opération........................................................... 120
7.5 Théorie du STM............................................................... 121
7.6 La pointe du STM............................................................ 124
7.7 Principe et instrumentation du microscope
à Force Atomique (AFM) ................................................ 124
7.8 Autres sondes................................................................... 128
7.9 Résumé ............................................................................ 132
7.10 Exercices.......................................................................... 133
7.11 Bibliographie ................................................................... 133
CHAPITRE 8 COMPARAISON DES MÉTHODES ANALYTIQUES.......... 135
Analyse et technologie des surfaces
4.5 Analyse quantitative ........................................................
62
4.6 Exercices..........................................................................
66
4.7 Résumé ............................................................................
66
4.8 Bibliographie ...................................................................
67
CHAPITRE 5 SPECTROMÉTRIES IONIQUES
5.1 Objectifs...........................................................................
69
5.2 Méthode ...........................................................................
69
5.3 Principe............................................................................
70
5.4 Instrumentation................................................................
77
5.5 Analyse quantitative ........................................................
85
5.6 Postionisation...................................................................
86
5.7 Spectroscopie à décharge luminescente...........................
88
5.8 Exemples pratiques..........................................................
90
5.9 Exercices..........................................................................
92
5.10 Résumé ............................................................................
92
5.11 Bibliographie ...................................................................
93
CHAPITRE 6 PROFILS EN PROFONDEUR
6.1 Objectifs...........................................................................
95
6.2 Introduction .....................................................................
95
6.3 Vitesse et rendement du décapage ionique ......................
98
6.4 Résolution en profondeur ................................................
99
6.5 Décapage ionique préférentiel ......................................... 103
6.6 Analyse quantitative ........................................................ 105
6.7 Présentation de quelques exemples d’étude de profils .... 109
6.8 Exercices.......................................................................... 114
6.9 Résumé ............................................................................ 114
6.10 Bibliographie ................................................................... 115
CHAPITRE 7 SONDES NANOMÉTRIQUES
7.1 Objectifs........................................................................... 117
7.2 Famille des sondes........................................................... 117
7.3 Principe du microscope à effet tunnel ............................. 118
7.4 Modes d’opération........................................................... 120
7.5 Théorie du STM............................................................... 121
7.6 La pointe du STM............................................................ 124
7.7 Principe et instrumentation du microscope
à Force Atomique (AFM) ................................................ 124
7.8 Autres sondes................................................................... 128
7.9 Résumé ............................................................................ 132
7.10 Exercices.......................................................................... 133
7.11 Bibliographie ................................................................... 133
CHAPITRE 8 COMPARAISON DES MÉTHODES ANALYTIQUES.......... 135