Spectroscopie d’électrons Auger
63
(4.7)
où g est une fonction définie par:
(4.8)
qui donne essentiellement l’intensité de la première monocouche à la surface,
avec c A (z):concentration atomique de l’élément A qui est une fonction de la profondeur z.
λ:
libre parcours moyen de l’électron Auger, voir équation (3.10).
θ:
angle d’émission par rapport à la normale de la surface.
T(E): facteur de transmission, fonction de l’énergie cinétique E de l’électron
Auger.
D(E): facteur tenant compte de l’efficacité du multiplicateur des électrons
(attention, il varie en fonction du temps!).
I 0 : courant primaire.
σ Α : section efficace de l’élément A.
p Α : probabilité d’émission d’un électron Auger lors de la désexcitation de
l’atome.
r M : facteur de rétrodiffusion, fonction de la matrice, voir § 4.2.4.
On néglige l’influence de la rugosité R dans (4.7).
Sous l’hypothèse que la surface de l’échantillon soit plane et de composition
homogène dans la couche analysée, l’intégration de (4.7) pour l’élément A dans une
matrice M donne [4.10]
(4.9)
L’application de (4.9) à un alliage binaire AB (valable aussi pour un oxyde
MeO) donne alors le rapport des intensités de A et B où le second indice indique
soit l’alliage AB soit l’élément A ou B:
(4.10)
où K' est défini par:
(4.11)
et
I A
g c A z
( )
z
λ
θ
cos
--------------–
exp
z
d
0
∞
∫
=
g
T E
( )D E
( )I 0 σ A p A 1 r M
+
(
)
=
I A M
,
DT E
( )I 0 σ A p A 1 r A M
, λ A M
,
+
(
)
θ c A M
,
⋅
cos
=
I A AB
,
I B AB
,
------------- -
σ A A
,
σ B B
,
----------- -K'
x A
x B
----- -
=
K'
k r k λ k c
=
63
(4.7)
où g est une fonction définie par:
(4.8)
qui donne essentiellement l’intensité de la première monocouche à la surface,
avec c A (z):concentration atomique de l’élément A qui est une fonction de la profondeur z.
λ:
libre parcours moyen de l’électron Auger, voir équation (3.10).
θ:
angle d’émission par rapport à la normale de la surface.
T(E): facteur de transmission, fonction de l’énergie cinétique E de l’électron
Auger.
D(E): facteur tenant compte de l’efficacité du multiplicateur des électrons
(attention, il varie en fonction du temps!).
I 0 : courant primaire.
σ Α : section efficace de l’élément A.
p Α : probabilité d’émission d’un électron Auger lors de la désexcitation de
l’atome.
r M : facteur de rétrodiffusion, fonction de la matrice, voir § 4.2.4.
On néglige l’influence de la rugosité R dans (4.7).
Sous l’hypothèse que la surface de l’échantillon soit plane et de composition
homogène dans la couche analysée, l’intégration de (4.7) pour l’élément A dans une
matrice M donne [4.10]
(4.9)
L’application de (4.9) à un alliage binaire AB (valable aussi pour un oxyde
MeO) donne alors le rapport des intensités de A et B où le second indice indique
soit l’alliage AB soit l’élément A ou B:
(4.10)
où K' est défini par:
(4.11)
et
I A
g c A z
( )
z
λ
θ
cos
--------------–
exp
z
d
0
∞
∫
=
g
T E
( )D E
( )I 0 σ A p A 1 r M
+
(
)
=
I A M
,
DT E
( )I 0 σ A p A 1 r A M
, λ A M
,
+
(
)
θ c A M
,
⋅
cos
=
I A AB
,
I B AB
,
------------- -
σ A A
,
σ B B
,
----------- -K'
x A
x B
----- -
=
K'
k r k λ k c
=