Spectroscopie d’électrons Auger
51
4.3.4 Rétrodiffusion
Nous avons déjà mentionné que l’on utilise en spectroscopie Auger les électrons primaires d’une énergie de 3-30 keV. En traversant les couches atomiques de
l’échantillon, ils subissent des pertes d’énergie et des changements de direction.
Par la méthode de Monte-Carlo, on calcule que ces électrons peuvent pénétrer
jusqu’à une profondeur de quelques microns (fig. 4.1). Ces électrons primaires
créent des électrons secondaires, des électrons Auger et des photons sur leur passage. On peut imaginer que les électrons secondaires rétrodiffusés ayant suffisamment d’énergie peuvent aussi eux-mêmes créer des électrons Auger. On obtient
ainsi une contribution des électrons rétrodiffusés au nombre total des électrons
Auger. Puisque le nombre des électrons Auger est proportionnel au courant total
Auger, on écrit:
(4.3)
avec I 0 : courant primaire.
I M : courant de rétrodiffusion provoqué par les atomes de la matrice M.
r M : facteur de rétrodiffusion, défini par le rapport I M /I 0 .
La figure 4.7 exprime le facteur r M en fonction de E (énergie cinétique des
électrons Auger) pour différents éléments. On constate que r M augmente pour les
éléments lourds, car leur nombre d’électrons augmente avec Z, comme par exemple
pour l’or (Z = 79). En pratique, cela signifie que le signal Auger peut être intensifié
par des atomes avec beaucoup d’électrons ou une couche conductrice en-dessous de
la couche d’analyse, car les électrons retrodiffusés peuvent aussi produire des électrons Auger lors de leur passage vers la surface. Le même effet est observé également en microscopique électronique car le contraste augmente dans une telle
situation.
I total
I 0 I M
+
I 0 1 r M
+
(
)
+
=
=
p WXY
Fig. 4.6 Probabilité d’émission d’un électron Auger p WXY pour une ionisation au niveau de cœur
X = K, L ou M avec p X = 1 – p WXY .
p KLL
p X, KL
p X, LM
p LMM
p MNN
p X, MN
Z
1,0
0,5
0
0
20
40
60
80
100
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4.3.4 Rétrodiffusion
Nous avons déjà mentionné que l’on utilise en spectroscopie Auger les électrons primaires d’une énergie de 3-30 keV. En traversant les couches atomiques de
l’échantillon, ils subissent des pertes d’énergie et des changements de direction.
Par la méthode de Monte-Carlo, on calcule que ces électrons peuvent pénétrer
jusqu’à une profondeur de quelques microns (fig. 4.1). Ces électrons primaires
créent des électrons secondaires, des électrons Auger et des photons sur leur passage. On peut imaginer que les électrons secondaires rétrodiffusés ayant suffisamment d’énergie peuvent aussi eux-mêmes créer des électrons Auger. On obtient
ainsi une contribution des électrons rétrodiffusés au nombre total des électrons
Auger. Puisque le nombre des électrons Auger est proportionnel au courant total
Auger, on écrit:
(4.3)
avec I 0 : courant primaire.
I M : courant de rétrodiffusion provoqué par les atomes de la matrice M.
r M : facteur de rétrodiffusion, défini par le rapport I M /I 0 .
La figure 4.7 exprime le facteur r M en fonction de E (énergie cinétique des
électrons Auger) pour différents éléments. On constate que r M augmente pour les
éléments lourds, car leur nombre d’électrons augmente avec Z, comme par exemple
pour l’or (Z = 79). En pratique, cela signifie que le signal Auger peut être intensifié
par des atomes avec beaucoup d’électrons ou une couche conductrice en-dessous de
la couche d’analyse, car les électrons retrodiffusés peuvent aussi produire des électrons Auger lors de leur passage vers la surface. Le même effet est observé également en microscopique électronique car le contraste augmente dans une telle
situation.
I total
I 0 I M
+
I 0 1 r M
+
(
)
+
=
=
p WXY
Fig. 4.6 Probabilité d’émission d’un électron Auger p WXY pour une ionisation au niveau de cœur
X = K, L ou M avec p X = 1 – p WXY .
p KLL
p X, KL
p X, LM
p LMM
p MNN
p X, MN
Z
1,0
0,5
0
0
20
40
60
80
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